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表面增强拉曼散射元件的制作方法
文档序号：16285812
发布日期：2018-12-14 23:15
阅读：187
来源：国知局
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表面增强拉曼散射元件的制作方法
技术特征：
技术总结
SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱(11)的侧面设置有沟槽。导电体层(6)进入到该沟槽，由此，多个间隙(G)被形成于导电体层(6)。
技术研发人员：
柴山胜己;丸山芳弘;伊藤将师
受保护的技术使用者：
浜松光子学株式会社
技术研发日：
2013.08.09
技术公布日：
2018.12.14
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