1.一种MEMS加速度计伺服电路,包括外壳、引线和壳盖,采用双列直插潜腔金属外壳封装,内部充有氮气保护,其特征在于,所述外壳采用双列直插潜腔金属外壳,所述外壳和引线的材质为可伐,所述外壳和引线表面镀金以防止氧化,内部由陶瓷基片、集成电路芯片、多层陶瓷电容及其它辅料组成,所述陶瓷基片经过厚膜印刷烧结,于其上制作金导带和厚膜电阻,通过耐高温焊锡与外壳底部焊接在一起,所述陶瓷基片上用导电胶粘接集成电路芯片和片式陶瓷电容,采用金丝将上述芯片和所述金导带互连,通过平行缝焊机将壳盖与壳体进行焊接封装。
2.根据上述权利要求1所述的MEMS加速度计伺服电路,其特征在于:所述陶瓷基板采用高温烧结工艺,将所述厚膜电阻和金导体制作于所述陶瓷基板之上,所述陶瓷电容和集成电路芯片采用高温导电胶粘接于基板之上。
3.根据上述权利要求1所述的MEMS加速度计伺服电路,其特征在于:所述陶瓷基板通过高温焊锡与可伐外壳焊接在一起。
4.根据上述权利要求1所述的MEMS加速度计伺服电路,其特征在于:所述集成电路芯片与所述基板上金导体的连接方式为金丝球焊,用所述金丝将芯片的焊盘(PAD)与金导体在150℃高温下,通过超声进行键合连接。
5.一种MEMS加速度计伺服电路的制作方法,其特征在于,所述伺服电路的外壳采用双列直插潜腔金属,外壳和引线的材质采用可伐,在所述外壳和引线表面镀金,以防止氧化,通过厚膜印刷烧结,在陶瓷基片上面制作金导带和厚膜电阻,然后通过耐高温焊锡将陶瓷基片与外壳底部焊接在一起,在陶瓷基片上用导电胶粘接集成电路芯片和片式陶瓷电容,然后用金丝将芯片和金导带互连,经过高温老化和测试后,在氮气保护的环境下,用平行缝焊机将壳盖与壳体进行焊接封装,从而完成伺服电路的制作。
6.根据上述权利要求5所述的MEMS加速度计伺服电路的制作方法,其特征在于:所述陶瓷基板采用高温烧结工艺,将厚膜电阻和金导体制作与基板之上,所述陶瓷电容和集成电路芯片采用高温导电胶粘接与基板之上。
7.根据上述权利要求5所述的MEMS加速度计伺服电路的制作方法,其特征在于:所述陶瓷基板通过高温焊锡与可伐外壳焊接在一起。
8.根据上述权利要求5所述的MEMS加速度计伺服电路的制作方法,其特征在于:所述集成电路芯片与基板上金导体的连接方式为金丝球焊,用金丝将芯片的焊盘(PAD)与金导体在150℃高温下,通过超声进行键合连接。