一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统的制作方法

本发明涉及激光器测试用夹具领域，特别是涉及一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统。

背景技术：

激光(laser)是意思是：利用激励放射来增加光的强度，所谓的(激励放射)其实就是完成两个重要的步骤，第一个是：能量激发(pumping)，第二个是：共振放大(resonance)。

激光的种类可以分为：气体激光、液体激光、固体激光与半导体激光，其中半导体激光器的体积是最小、成本最低；严格来说，半导体激光也是固体激光的一种，但是由于目前商业上半导体激光的使用量很大，例如：光学读取头、光通讯光源、激光指示器等，所以激光已经深刻影响着我们的生活，而激光二极管又可以分为边射型激光与面射型激光；边发射激光器因为是侧面发光，所以测试只可以单颗进行器件的光电性能测试，因此相对物理尺寸过小再进行光电性能测试时，需要特使的夹具进行固定，同时由于其测试的特殊性，需要测试夹具同时兼顾高低温与恒温的功能；现有技术中的装置结构工作稳定性差，使用寿命短，控制效果差，因此本发明研制了一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，以解决现有技术中存在的问题，经检索，未发现与本发明相同或相似的技术方案。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，以解决现有技术中装置结构稳定性差且使用寿命短的问题。

为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，包括芯片夹具、由上至下依次设置在芯片夹具下端的温控板、均温板、半导体制冷片及散热装置；所述均温板内设置有温度传感器；所述芯片夹具包括安装片、与安装片连接的真空泵及设置在安装片端部的一对挡板；所述安装片内部具有一与真空泵连接的导气管、与导气管相连通并延伸至安装片侧面的若干抽气孔；所述安装片偏向抽气孔的一端上下两侧分别具有一导向条；所述导向条沿安装片长轴方向设置，沿竖直方向的截面呈l型；所述挡板上下两端嵌套配合在导向条内，并沿导向条长轴方向移动。

进一步的，还包括温控模块，所述温控模块通过直流电源供电，并分别与温度传感器及半导体制冷片电连接。

进一步的，所述温控板及均温板均设置在隔热箱内。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列有益效果：

(1)结构简单，工作方便，采用真空吸附的方式进行进行单颗芯片的吸附固定，同时可以满足边发射激光器的发光光斑的发射要求；同时通过芯片的大小调节一对挡板之间的距离，有效控制外露的抽气孔的数量，防止粉尘吸附。

(2)还包括温控模块，温控模块通过直流电源供电，并分别与温度传感器及半导体制冷片电连接，通过温度传感器将温度信号传递给温控模块，然后温控模块依据pid参数进行计算，调节tec功率，最后将信号输出给半导体制冷片，通过半导体制冷片进行温度的调节，从而有效实现控温。

(3)温控板及均温板均设置在隔热箱内，保证待测单颗芯片的各项参数稳定，提高测试精度。

附图说明

图1是本发明所述结构的示意图。

图2是本发明所述结构的俯视图。

图3是本发明所述安装片与挡板的示意图。

图4是本发明所述结构的系统原理图。

图中1、安装片，2、导气管，3、真空泵，4、温控板，5、均温板，6、半导体制冷片，7、散热装置，8、抽气孔，9、挡板，10、导向条。

具体实施方式

下面结合具体实施例，对本发明的内容做进一步的详细说明：

如图1-4所示，一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，包括芯片夹具、由上至下依次设置在芯片夹具下端的温控板4、均温板5、半导体制冷片6及散热装置7，同时还包括温控模块，温控模块通过直流电源供电，并分别与温度传感器及半导体制冷片电连接；其中温控板及均温板均设置在隔热箱内；均温板内设置有温度传感器；芯片夹具包括安装片1、与安装片1连接的真空泵3及设置在安装片1端部的一对挡板9；安装片1内部具有一与真空泵3连接的导气管2、与导气管2相连通并延伸至安装片1侧面的若干抽气孔8；安装片1偏向抽气孔8的一端上下两侧分别具有一导向条10；导向条10沿安装片1长轴方向设置，沿竖直方向的截面呈l型；挡板9上下两端嵌套配合在导向条10内，并沿导向条10长轴方向移动。

工作原理：

工作时，根据芯片的宽度调节一对挡板9之间的距离，然后开启真空泵3，将芯片放置在温控板4的上端面，由于抽气孔8的作用使其吸附在安装片1的侧边；接着温控模块开始工作，通过直流电源供电，使其接收到温度传感器输入的检测温度，然后温控模块依据pid参数进行计算，调节tec功率，最后将信号输出给半导体制冷片6，通过半导体制冷片6进行温度的调节，从而有效实现控温。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，包括芯片夹具、由上至下依次设置在芯片夹具下端的温控板、均温板、半导体制冷片及散热装置；所述均温板内设置有温度传感器；所述芯片夹具包括安装片、与安装片连接的真空泵及设置在安装片端部的一对挡板；所述安装片内部具有一与真空泵连接的导气管、与导气管相连通并延伸至安装片侧面的若干抽气孔；所述安装片偏向抽气孔的一端上下两侧分别具有一导向条。结构简单，工作方便，采用真空吸附的方式进行进行单颗芯片的吸附固定，同时可以满足边发射激光器的发光光斑的发射要求；同时通过芯片的大小调节一对挡板之间的距离，有效控制外露的抽气孔的数量，防止粉尘吸附。

技术研发人员：张海洋;刘伟;吕文波
受保护的技术使用者：苏州伊欧陆系统集成有限公司
技术研发日：2018.11.16
技术公布日：2019.02.22