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一种加速度计的制作方法
文档序号:17072168
发布日期:2019-03-08 23:24
阅读:
来源:国知局
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一种加速度计的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明提供了一种加速度计,包括:质量块,质量块被设置为:受到驱动而作沿着驱动方向的谐振,同时绕着一回转轴作转动谐振;锚点,质量块连接至锚点;检测电极,用于检测质量块的运动。本发明的有益效果:利用谐振原理制成新型加速度计,可以实现抗粘附、抗冲击、易与陀螺集成、前端灵敏度可调等功能。
技术研发人员:
邹波
受保护的技术使用者:
深迪半导体(上海)有限公司
技术研发日:
2018.12.29
技术公布日:
2019.03.08
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