一种高性能压差传感器的制作方法

文档序号:16225316发布日期:2018-12-11 20:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高性能压差传感器,其特征在于:包括壳体,所述壳体内左右对称设置有正压腔和负压腔,所述正压腔右侧紧密连接有第一应变片,所述负压腔左侧紧密连接有第二应变片,所述第一应变片和所述第二应变片连分别两端导线连接设置于所述正压腔上方的传感芯片,所述传感芯片电连接电路板,所述电路板与壳体外组件电连接,所述正压腔的左侧面和负压腔的右侧面设置于壳体外部。

2.根据权利要求1所述一种高性能压差传感器,其特征在于:所述正压腔包括正压腔体和与所述正压腔体一体成型的正压膜片,所述正压膜片位于所述正压腔的右侧,所述负压腔包括负压腔体和与所述负压腔体一体成型的负压膜片,所述负压膜片位于所述负压腔的左侧。

3.根据权利要求2所述一种高性能压差传感器,其特征在于:所述正压膜片外沿与所述正压腔体连接处呈弧形,所述负压膜片外沿与所述负压腔体连接处呈弧形。

4.根据权利要求1所述一种高性能压差传感器,其特征在于:所述应变片正上方设置有密封箱体,所述传感芯片和所述电路板设置于所述密封箱体内,所述密封箱体上开设有供导线穿过的通孔。

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