1.一种三维力柔性传感器,其特征在于,包括:柔性基底和微结构,其中柔性基底包括保护夹层、以及放置在保护夹层内且呈阵列式分布的至少三个压敏单元,压敏单元的行列之间由导线连接;微结构包括支撑板,支撑板的上表面设有受力凸块、下表面设有与压敏单元数量相同的支撑柱,支撑柱与支撑板之间为倾斜安装,支撑柱的下端面平齐且分别与压敏单元对应布置。
2.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述支撑柱的柱身均沿所述支撑板板面向外倾斜,且每个支撑柱柱身与所述支撑板板面之间倾斜的角度相同。
3.如权利要求2所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述与压敏单元数量相同的支撑柱呈中心对称。
4.如权利要求2所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述的支撑柱为四棱柱。
5.如权利要求2所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述受力凸块为弧形凸块,且受力凸块与支撑柱的中心对称点对应布置。
6.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述至少三个压敏单元呈三角形、矩形矩阵或环形矩阵分布,各压敏单元的行列之间通过与压敏单元相同阵列分布的导线连接。
7.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述保护夹层包括上薄膜和下薄膜,所述压敏单元布置在上薄膜和下薄膜之间。
8.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述压敏单元由具有压阻效应的柔性应变材料制备。
9.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述上薄膜和下薄膜的材质为PET或PVC或硅橡胶,且厚度均为5μm~50μm。
10.如权利要求1所述的三维力柔性传感器,其特征在于,所述微结构的总高度为0.1mm~1mm、总边长为0.5mm~5mm。