技术总结
本实用新型公开了一种三维力柔性传感器，属于传感器技术领域，包括柔性基底和微结构，其中柔性基底包括保护夹层、以及放置在保护夹层内且呈阵列式分布的至少三个压敏单元，压敏单元的行列之间由导线连接；微结构包括支撑板，支撑板的上表面设有受力凸块、下表面设有与压敏单元数量相同的支撑柱，支撑柱与支撑板之间为倾斜安装，支撑柱的下端面平齐且分别与压敏单元对应布置。受力时，通过四个支撑柱传递至压敏单元，压敏单元所受作用力方向为倾斜方向，引起压敏单元电阻产生变化的只有正压力。变化的电阻可通过扫描获得，根据理论推导可求得柔性传感器单元所受三维力的大小和方向，如此减少维间耦合度，降低解耦难度。
技术研发人员：许玉云;胡广宇;赵星;杨记周;潘宏青;孙玉香;曹会彬;何飞;双丰
受保护的技术使用者：中国科学院合肥物质科学研究院
技术研发日：2018.04.26
技术公布日：2018.12.07