1.一种测力/扭矩传感器,其特征在于,包括:
弹性基底(1);
陶瓷基片(2),其设置在所述弹性基底(1)上;以及
全桥敏感元件(3),其为厚膜全桥敏感元件,并印烧在所述基片(2)上,用于检测所述弹性基底(1)发生形变时的扭力值和扭矩值、并多路输出检测结果。
2.根据权利要求1所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述弹性基底(1)上设置有凹槽(11),所述陶瓷基片(2)设置在所述凹槽(11)内。
3.根据权利要求2所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述凹槽(11)设置在所述弹性基底(1)的侧壁。
4.根据权利要求3所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述陶瓷基片(2)以预设间隔相对地粘贴在所述凹槽(11)底部。
5.根据权利要求1所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述陶瓷基片(2)由氧化铝材料制成。
6.根据权利要求1所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述全桥敏感元件(3)包括:钌系厚膜和固定在所述钌系厚膜中的全桥敏感电阻。
7.根据权利要求6所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述全桥敏感电阻包括:力敏电阻以及全桥所需的零位补偿电阻和零点温度补偿电阻。
8.根据权利要求1所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述弹性基底(1)为环状结构。
9.根据权利要求8所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述弹性基底(1)由金属材料制作而成。
10.根据权利要求1-9任一项所述的测力/扭矩传感器,其特征在于,所述弹性基底(1)的厚度小于或等于7mm。