一种测力/扭矩传感器的制作方法

文档序号:17021001发布日期:2019-03-02 02:42阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种测力/扭矩传感器,包括:弹性基底;陶瓷基片,其设置在所述弹性体上,用于设置测力/扭矩传感器中的其他元件;以及全桥敏感元件,其为厚膜全桥敏感元件,并印烧在所述基片上,用于检测所述金属弹性体发生形变时的扭力值和扭矩值、并多路输出检测结果。本实用新型中的测力/扭矩传感器,通过丝网印刷及高温烧结将全桥敏感元件设置在基片上,获得了一种高内阻、高灵敏度、带桥路补偿的单片厚膜力敏元件,并将其设置在弹性基底上的凹槽内,形成了一种低厚度、高内阻、微功耗的传感器,满足了许多要求传感器低厚度、高内阻、微功耗的电池供电系统的需求。

技术研发人员:王洪业;周伍阳;徐的
受保护的技术使用者:扬州森瑟尔科技有限公司
技术研发日:2018.06.08
技术公布日:2019.03.01

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