精巧型差压传感装置的制作方法

文档序号:17750015发布日期:2019-05-24 20:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.精巧型差压传感装置,其特征在于,包括:

差压传感器,其两端安装有流体接头,所述流体接头用于连接待检测设备;

芯片组件,其安装在所述差压传感器上方;

线路板组件,其安装在所述芯片组件上方;

其中,所述流体接头包括:

流体入口,所述流体入口内壁设置有螺纹,用于连接待检测设备中输送流体的管道;和流体通道,所述流体通道连通所述差压传感器和所述流体入口;

连接环,所述流体接头通过所述连接环与所述差压传感器连接。

2.根据权利要求1所述的精巧型差压传感装置,其中,所述差压传感器包括:

第一感压面和第二感压面,分别设置在所述差压传感器的两端,表面具有波纹;

第一导压孔,其连通所述第一感压面与所述芯片组件,形成正压腔;和

第二导压孔,其连通所述第二感压面与所述芯片组件,形成负压腔;

第一隔离膜片和第二隔离膜片,分别设置在所述第一感压面和所述第二感压面上。

3.根据权利要求2所述的精巧型差压传感装置,其中,所述差压传感器还包括:

环形连接部,所述环形连接部设置在所述第一感压面和所述第二感压面的外圆周,所述连接环与所述环形连接部焊接,实现所述流体接头与所述差压传感器的连接。

4.根据权利要求1所述的精巧型差压传感装置,其中,所述芯片组件还包括:

套筒,所示套筒内包括:

焊接台和硅杯,所述硅杯与所述焊接台之间形成有一芯片容纳空间,所述芯片容纳空间内包括:

绑定板,所述绑定板上安装有传感器芯片。

5.根据权利要求4所述的精巧型差压传感装置,其中,所述差压传感器上设置有:

焊接槽,其用于安装所述焊接台;

限位槽,其设置在焊接槽外圆周,用于安装所述套筒。

6.根据权利要求4所述的精巧型差压传感装置,其中,所述套筒上设置有连接槽。

7.根据权利要求6所述的精巧型差压传感装置,其中,所述线路板组件包括:

安装板,其设置在所述连接槽的内部;

线路板,其安装在所述安装板上;

螺纹套管,其套设在所述线路板外周,且固定在所述连接槽外壁,表面具有螺纹;

螺纹盖,通过螺纹盖在所述螺纹套管上。

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