技术总结
本实用新型公开了一种伽马能谱仪进样取样装置，包括底座，所述底座的内部固定设置有伸缩杆，所述伸缩杆的杆头固定设置有取样箱，所述取样箱的内部开设有卡槽，所述卡槽的内部设置有空心卡板，所述取样箱的内部两端设置有干燥条，所述伸缩杆与外部电源线性连接；通过伸缩杆的设置实现了可以调节取样箱的高度到最便于使用者取样的高度的功能，通过空心卡板的设置实现了可以便捷取样的功能，从取样箱的卡槽中取出卡有晶圆的空心卡板既避免了与晶圆直接接触污染晶圆又降低了晶圆在移动过程中的损坏几率，通过干燥条和干燥孔的设置实现了可以对取样箱内部的样品进行干燥的功能。
技术研发人员：杨雪松;张慧;朱威莉;李锋
受保护的技术使用者：江苏纳沛斯半导体有限公司
技术研发日：2018.07.02
技术公布日：2019.01.22