一种扫描电子显微镜样品夹持装置的制作方法

文档序号:16909425发布日期:2019-02-19 18:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于:包括机台、旋转装置、旋转接头、转台和夹持装置;所述转台通过轴承固定安装在机台上;所述旋转装置与所述转台相互啮合;

所述夹持装置位于转台上方;所述转台包括工作台和法兰;所工作台与所述法兰之间通过螺栓连接;所述工作台一端设有轮齿另一端设有沉槽;所述沉槽上设有两个密封槽。

2.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于所述法兰上设有 4个吸盘;所述法兰上设有“T”形滑槽。

3.根据权利要求1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于所述工作台设有气流管道。

4.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于所述夹持装置包括支撑板、滑轴、弹性元件和夹紧块;所述滑轴和夹紧块固定连接;所述滑轴通过直线轴承固定安装在支撑板上;所述弹性元件位于夹紧块和支撑板之间,且套接在滑轴上。

5.根据权利要求 1 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于所述旋转装置包括摇柄、轴承Ⅱ和蜗杆组成;所述蜗杆通过轴承Ⅱ固定安装在机台内侧;所述摇柄和蜗杆固定连接。

6.根据权利要求 4 所述的一种扫描电子显微镜样品夹持装置,其特征在于所述夹紧块上设有橡胶层。

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