一种扫描电子显微镜样品夹持装置的制作方法

文档序号:16909425发布日期:2019-02-19 18:32阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种扫描电子显微镜样品夹持装置,包括机台、旋转装置、旋转接头、转台和夹持装置;所述转台通过轴承固定安装在机台上;所述旋转装置与所述转台相互啮合;所述夹持装置位于转台上方。本实用新型扫描电子显微镜样品夹持装置,通过弹簧回弹力和真空的吸力,很好的保证了载物台不会在无人为的状态的下随意移动,继而方便对载物台上的物质各个方位进行观测,当要对不同方位进行观测进行观测时通过摆动摇柄来带动蜗杆转动来实现整个转台转动来完成,设计合理,操作方便。

技术研发人员:欧阳亮;邱晓滨;洪丽川;林国林
受保护的技术使用者:厦门芯极科技有限公司
技术研发日:2018.07.06
技术公布日:2019.02.19

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