探针插座可微调的芯片测试治具的制作方法

文档序号:16823968发布日期:2019-02-10 23:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.探针插座可微调的芯片测试治具,其特征在于,包括治具板和探针插座,所述治具板的顶部设置有放置芯片的仿形定位腔,底部设置有连通所述仿形定位腔的插孔;所述探针插座位于所述治具板的下方,其包括探针、固定座、插座主体、上底座和下底座,所述固定座采用螺栓固定在所述插座主体的顶部,所述探针安装在所述固定座中,所述探针的顶部伸于所述固定座的上方,所述探针的底部插入插座主体中并与所述插座主体电连接;所述下底座上安装有X轴向导轨,所述上底座采用滑块安装在所述X轴向导轨;所述下底座上安装有Y轴向导轨,连接在所述插座主体侧边的连接板采用滑块安装在所述Y轴向导轨上;所述下底座和上底座中均设置有两个带定位销的凸耳,所述上底座的底部和所述连接板的底部均设置有插入对应的两个凸耳之间的定位块,所述定位块中设置有容所述定位销插入的定位孔。

2.根据权利要求1所述的探针插座可微调的芯片测试治具,其特征在于,所述固定座的顶部为锥形导向结构的导向块,所述插孔的形状与所述导向块匹配。

3.根据权利要求2所述的探针插座可微调的芯片测试治具,其特征在于,所述治具板的顶部设置有环氧树脂板制成的镶板,所述仿形定位腔位于所述镶板中。

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