一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体的制作方法

文档序号:17809789发布日期:2019-05-31 22:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,包括杯形合金应变弹性体(1),所述合金应变弹性体(1)上连接有金属电路板支撑环(2),所述杯形合金应变弹性体(1)顶部外表面由内向外依次溅射有三氧化二铝绝缘层(3)、溅射薄膜电阻层(4)、溅射三氧化二铝保护膜层(5)以及Pt引线层(6),所述Pt引线层(6)端部均设有Pt引线点,所述金属电路板支撑环(2)远离连接合金应变弹性体(1)另一端外侧设有厚膜补偿电路板(7)。

2.如权利要求1所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述金属电路板支撑环(2)横截面为两端带台阶圆环型。

3.如权利要求2所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述合金应变弹性体(1)采用GH3044镍基高温高弹性合金材料制成。

4.如权利要求3所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述三氧化二铝绝缘层(3)的厚度为3-6um。

5.如权利要求4所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述溅射薄膜电阻层(4)采用PdCr13材料制成,且所述溅射薄膜电阻层(4)的厚度为0.2-0.5um。

6.如权利要求5所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述溅射三氧化二铝保护膜层(5)的厚度为1.5-3um。

7.如权利要求6所述的一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体,其特征在于,所述Pt引线点的厚度为1.5-3um。

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