一种双工位高速精密视觉检测系统的制作方法

文档序号:18924962发布日期:2019-10-19 03:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双工位高速精密视觉检测系统,其特征在于,包括XYZ轴精密运动平台、显微镜检测平台及变倍镜检测平台,所述显微镜检测平台及变倍镜检测平台设置在XYZ轴精密运动平台上,还包括用于控制XYZ轴精密平台移动实现显微镜检测平台及变倍镜检测平台切换的工控机,所述工控机分别与显微镜检测平台及变倍镜检测平台连接,所述XYZ轴精密平台包括X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨、第一滑块、第二滑块、第三滑块及用于驱动X、Y、Z轴导轨移动的电机,X轴导轨固定在底座上,Y轴导轨通过第一滑块连接X轴导轨,所述Z轴导轨通过第二滑块与Y轴导轨连接。

2.根据权利要求1所述的一种双工位高速精密视觉检测系统,其特征在于,所述显微镜检测平台包括金相显微镜、卤素灯光源及CCD工业相机,所述CCD工业相机设置在Z轴导轨上。

3.根据权利要求1所述的一种双工位高速精密视觉检测系统,其特征在于,所述变倍镜检测平台包括CCD工业相机、变倍可调焦镜头及LED同轴光光源装置,所述CCD工业相机设置在Z轴导轨上。

4.根据权利要求1所述的一种双工位高速精密视觉检测系统,其特征在于,所述Z轴导轨设置抱闸装置。

5.根据权利要求2或3所述的一种双工位高速精密视觉检测系统,其特征在于,所述CCD工业相机的像素为500万像素。

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