一种双工位高速精密视觉检测系统的制作方法

文档序号:18924962发布日期:2019-10-19 03:55阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种双工位高速精密视觉检测系统,包括XYZ轴精密运动平台、显微镜检测平台及变倍镜检测平台,所述显微镜检测平台及变倍镜检测平台设置在XYZ轴精密运动平台,还包括用于控制XYZ轴精密平台移动的工控机,所述工控机分别与显微镜检测平台及变倍镜检测平台连接,所述XYZ轴精密平台包括X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨、第一滑块、第二滑块、第三滑块及用于驱动X、Y、Z轴导轨移动的电机,X轴导轨固定在底座上,Y轴导轨通过第一滑块连接X轴导轨,所述Z轴导轨通过第二滑块与Y轴导轨连接。本实用新型采用XYZ轴精密平台可以实现显微镜与变倍镜的自动切换。

技术研发人员:胡跃明;李璐;黄丹
受保护的技术使用者:华南理工大学
技术研发日:2018.11.28
技术公布日:2019.10.18

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