1.一种化学敏感霍尔器件,包括:
衬底;
化学敏感层,布置在所述衬底上并且被配置为与气态或液态流体的原子或分子可操作地交互;
第一电极,连接到所述化学敏感层并且被配置为馈送传感器电流通过所述化学敏感层;以及
第二电极,连接到所述化学敏感层并且被配置为在所述化学敏感层处分接霍尔电压。
2.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,进一步包括:
背栅,布置在所述衬底上或集成在所述衬底中,并且通过隔离层与所述化学敏感层隔离。
3.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,其中所述霍尔器件是旋转电流霍尔器件。
4.根据权利要求3所述的化学敏感霍尔器件,其中所述旋转电流霍尔器件被配置为引起所述第一电极和第二电极沿着第一方向序列馈送所述传感器电流通过所述化学敏感层,并且沿着第二方向序列在所述化学敏感层处分接所述霍尔电压。
5.一种传感器阵列,包括根据权利要求1所述的至少两个化学敏感霍尔器件,其中所述至少两个化学敏感霍尔器件集成在一个衬底中或一个传感器封装件中。
6.根据权利要求5所述的传感器阵列,其中所述霍尔器件中的至少两个霍尔器件具有化学敏感层,所述化学敏感层被不同地化学官能化以提供对不同原子或分子的灵敏度。
7.根据权利要求6所述的传感器阵列,进一步包括:
控制电路,耦合到所述化学敏感霍尔器件的所述第一电极和所述化学敏感霍尔器件的所述第二电极,并且被配置为顺序地选择所述至少两个霍尔元件。
8.根据权利要求6所述的传感器阵列,进一步包括:
控制电路,耦合到所述化学敏感霍尔器件的所述第一电极和所述化学敏感霍尔器件的所述第二电极,并且被配置为选择两个或更多个霍尔器件,并且所选择的霍尔器件并联连接。
9.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,其中线圈在所述衬底中集成在所述化学敏感层下面。
10.根据权利要求9所述的化学敏感霍尔器件,其中所述线圈被可操作地供应电流,以生成具有与所述化学敏感层的顶表面垂直的场分量的磁场。
11.根据权利要求10所述的化学敏感霍尔器件,其中所述线圈被配置为作为加热线圈进行操作,以生成用于加热所述化学敏感层的热量。
12.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,进一步包括:
永磁体,被配置为生成具有与所述化学敏感层的顶表面垂直的场分量的磁场。
13.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,进一步包括:
加热电路,具有发热元件,所述发热元件被配置为加热所述化学敏感层以从所述化学敏感层解吸原子或分子。
14.根据权利要求13所述的化学敏感霍尔器件,其中所述化学敏感层用作发热元件,并且所述传感器电流增加以加热所述化学敏感层。
15.根据权利要求13所述的化学敏感霍尔器件,其中所述加热电路被配置为循环地加热所述气敏层。
16.根据权利要求1所述的化学敏感霍尔器件,其中所述化学敏感层包括霍尔元件。
17.一种用于操作传感器的方法,所述传感器包括布置在衬底上的化学敏感霍尔元件,所述方法包括:
向所述化学敏感霍尔元件施加传感器电流,使得所述传感器电流沿着第一方向通过所述霍尔元件;
沿着第二方向感测所述霍尔元件处的霍尔电压;以及
监测所述霍尔电压以获得化学品的定性浓度测量。
18.根据权利要求17所述的方法,其中所述霍尔元件是旋转电流霍尔元件,并且根据旋转电流模式来执行所述施加和所述感测。
19.根据权利要求17所述的方法,其中:
所述霍尔元件是旋转电流霍尔元件,
所述施加包括向所述化学敏感霍尔元件施加所述传感器电流,使得所述传感器电流沿着第一方向序列通过所述霍尔元件,以及
所述感测包括沿着第二方向序列感测所述霍尔元件处的所述霍尔电压。
20.根据权利要求17所述的方法,进一步包括:
加热所述化学敏感霍尔元件以从所述化学敏感霍尔元件中解吸原子或分子。