气敏霍尔器件的制作方法

技术总结
本文公开了气敏霍尔器件。一种化学敏感霍尔器件，具有：衬底；化学敏感层，布置在衬底上并且被配置为与气态或液态流体的原子或分子可操作地交互；第一电极，连接到化学敏感层并且被配置为沿着第一方向馈送传感器电流通过化学敏感层；以及第二电极，连接到化学敏感层并且被配置为沿着第二方向在化学敏感层处分接霍尔电压。

技术研发人员：W·布罗伊尔;M·艾克金格
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2019.01.11
技术公布日：2020.03.31