一种仿生阵列传感元件及其制备方法与流程

本发明涉及传感器领域，尤其涉及的是一种仿生阵列传感元件及其制备方法。

背景技术：

目前，基于压阻效应的应变/应力传感器可以分为结构型和材料型两类。结构型应变传感器利用的原理是微纳结构在受力变形后感知应变。材料型应变传感器应用的原理是各类新型纳米材料的尺度效应。结构型传感器经历了美国illinois大学的johna.rogers教授团队的蜿蜒蛇形结构，johna.rogers教授团队的褶皱型（bulking）应变传感器韩国首尔国立大学的kahpyangsuh等人，制造的相互交叉微米纤维结构的交叉型应变传感器的发展之后，近年来又出现了利用光刻技术生产各种模板来制造金字塔形，纳米柱型传感元件。材料型应变传感器的发展主要是基于利用通过各种化学自组装，聚合的纳米材料。目前，用于传感器的纳米复合材料包括纳米金属粒子(nps)，纳米碳管（cnts）或其两者的复合，还有纳米金属线（nws）；石墨烯（graphene）及其衍生物型。纳米功能材料型应变传感器的应变感知机理是当发生应变时，嵌入到柔性基底内的纳米粒子或纳米片的间距改变，其相互接触状态也发生变化，由此导致的电学特征变化用于应变感知测量。

现有技术中，传感器通常是以单个的形式制备，单个传感器的耐用度差，精确度不够。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种仿生阵列传感元件及其制备方法，旨在解决现有技术中缝传感单元无法大面积使用，只能针对小区域小范围使用的问题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种仿生阵列传感元件，其中，包括：柔性基底，所述柔性基底上设置有裂纹阵列，设置在所述裂纹阵列上的若干个导电单元以及连接若干个所述导电单元的沉积线路；所述沉积线路将各导电单元并联连接。

所述仿生阵列传感元件，其中，所述沉积线路包括：位于所述裂纹阵列中央的第一线路、位于所述第一线路两侧并与所述第一线路连接的第二线路、分别设置在导电单元两侧的第三线路和第四线路；所述第三线路和第四线路分别位于所述导电单元所在裂纹的两侧，所述第三线路与所述第二线路连接。

所述仿生阵列传感元件，其中，所述柔性基底采用如下材料制成：环氧树脂、热塑性聚氨酯、聚丙烯酸酯、聚偏氟乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丙烯-苯乙烯型嵌段共聚物、天然橡胶、丁苯橡胶、顺丁橡胶、异戊橡胶、硅橡胶、氯丁橡胶、丁基橡胶、丁腈橡胶、乙丙橡胶、氟橡胶、聚二甲基硅氧烷、苯乙烯类热塑性弹性体、烯烃类热塑性弹性体、二烯类热塑性弹性体、氯乙烯类热塑性弹性体、聚酰胺类热塑性弹性体或热塑性硫化橡胶中的一种或多种。

述仿生阵列传感元件，其中，所述裂纹阵列中裂纹的深度为60-1000nm，宽度为800-1200nm。

所述仿生阵列传感元件，其中，所述导电单元的厚度为40-60nm。

所述仿生阵列传感元件，其中，所述导电单元采用如下材料制成：碳纳米粒子、金纳米粒子、铂纳米粒子、银纳米粒子、铜纳米粒子、铝硼合金、铝铬合金、铁锰合金、铝铬钇合金、银铜钯合金中的一种或多种。

所述仿生阵列传感元件，其中，所述柔性基底的厚度为200-600μm。

一种如上述任意一项所述的仿生阵列传感元件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

制备带有裂纹阵列的柔性基底；

在裂纹阵列上镀导电单元；

在柔性基底上沉积连接导电单元的沉积线路。

所述仿生阵列传感元件的制备方法，其中，所述制备带有裂纹阵列的柔性基底步骤具体包括：

在带盖聚苯乙烯培养皿中加入定量酒精后加热，在培养皿上盖上形成裂纹阵列得到裂纹阵列模板；

以裂纹阵列模板制备反结构模板；

在反结构模板上旋涂柔性材料后进行脱泡处理和加热处理，并去除反结构模板得到柔性基底。

所述仿生阵列传感元件的制备方法，其中，所述在裂纹阵列上镀导电单元步骤具体包括：

采用第一掩模板覆盖柔性基底后镀导电单元；

所述在柔性基底上沉积连接导电单元的沉积线路步骤具体包括：

去除第一掩模板后采用第二掩模板覆盖柔性基底后镀沉积线路。

有益效果：由于每个导电单元都有裂纹结构，因而形成一个独立的传感单元。各导电单元采用沉积线路连接，且采用并联方式连接。每个传感单元可以独立感知其对应感应区域内的刺激，从而获得刺激的精确位置，解决了单个传感单元精确性不高的问题。

附图说明

图1是本发明中仿生阵列传感元件的第一结构示意图。

图2是本发明中柔性基底上仿生裂纹结构的sem图。

图3是本发明中柔性基底上仿生裂纹结构的afm图。

图4是第一模板的结构示意图。

图5是第二模板的结构示意图。

图6是本发明中仿生阵列传感元件的第二结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请同时参阅图1-图6，本发明提供了一种仿生阵列传感元件的一些实施例。

蝎类经过亿万年的漫长进化，其形态结构没有发生显著变化。其体表进化出了敏锐的裂缝形式的传感器，能够感知十分微小的振动信号，由此来捕猎食物与躲避天敌。因此，通过模拟蝎子裂缝结构来制备传感器具有十分重要的意义。

如图1和图2所示，本发明的一种仿生阵列传感元件，包括：柔性基底10，所述柔性基底10上设置有裂纹阵列11，设置在所述裂纹阵列11上的若干个导电单元20以及连接若干个所述导电单元20的沉积线路30；所述沉积线路30将各导电单元20并联连接。

针对裂纹阵列11中每条裂纹，沿裂纹的长度方向设置导电单元20，每个导电单元20都有裂纹结构，因而形成一个独立的传感单元。若干各导电单元20组成导电单元阵列，再将各导电单元20采用沉积线路30连接，各导电单元20采用并联方式连接。每个传感单元可以独立感知其对应感应区域内的刺激，从而获得刺激的精确位置，解决了单个传感单元精确性不高的问题。当然，各导电单元也可以联合感知刺激，由于各导电单元感知的刺激的大小不一样，其输出的电信号的强弱不相同，可以获得刺激的整体的大小分布图。

带有裂纹阵列11的柔性基底10采用如下步骤制备：

步骤s110、在实验室常用的带盖聚苯乙烯（ps）培养皿中加入定量酒精后对加热，在培养皿上盖上形成裂纹阵列得到裂纹阵列模板。

具体地，乙醇加热温度为80℃，加热时间为8-16h，由于溶剂诱导法与聚苯乙烯线性分子链特性，聚苯乙烯制上盖表面出现规则的裂纹阵列结构，然后采用超声波清洗其表面。

步骤s120、以裂纹阵列模板制备反结构模板。

具体地，本发明中采用环氧树脂ab胶制备反结构模板，将环氧树脂ab胶以3:1的质量比混合均匀后，放入聚苯乙烯制上盖中，并通过真空箱进行真空脱泡，脱泡时间为2h。然后，放入烘箱中进行固化，固化温度为50℃，固化时间为7-9h。环氧树脂ab胶固化后，可以采用机械方式将环氧树脂ab胶固化形成的膜（即反结构模板）与裂纹阵列模板分离，反结构模板具有与裂纹阵列11配合的v型凸起。

步骤s130、在反结构模板上旋涂柔性材料后进行脱泡处理和加热处理，并去除反结构模板得到柔性基底10。

具体地，所述柔性材料为环氧树脂、热塑性聚氨酯、聚丙烯酸酯、聚偏氟乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丙烯-苯乙烯型嵌段共聚物、天然橡胶、丁苯橡胶、顺丁橡胶、异戊橡胶、硅橡胶、氯丁橡胶、丁基橡胶、丁腈橡胶、乙丙橡胶、氟橡胶、聚二甲基硅氧烷、苯乙烯类热塑性弹性体、烯烃类热塑性弹性体、二烯类热塑性弹性体、氯乙烯类热塑性弹性体、聚酰胺类热塑性弹性体或热塑性硫化橡胶中的一种或多种。

为了加快柔性材料的固化，在柔性材料中加入硬化剂，柔性材料与硬化剂以质量比8-12:1的比例混合后，通过旋涂机旋涂在反结构模板上，具体旋涂在反结构模板上具有v型凸起的一面。然后进行脱泡处理和加热处理，这里采用真空脱泡，加热温度为70-90℃，加热时间为3-5h。最后采用机械方式去除反结构模板，由于反结构模板上有v型凸起，那么柔性基底10具有与裂纹阵列模板一致的裂纹阵列结构。通过控制柔性材料的加入量，可以得到不同厚度的柔性基底10，本实施例中，柔性基底10的厚度为200-600μm。如图3所示，裂纹阵列11中裂纹的深度为60-1000nm，宽度为800-1200nm。

在本发明中一个较佳实施例中，所述沉积线路30包括：位于所述裂纹阵列11中央的第一线路31、位于所述第一线路31两侧并与所述第一线路31连接的第二线路32、分别设置在导电单元20两侧的第三线路33和第四线路34；所述第三线路33和第四线路34分别位于所述导电单元20所在裂纹的两侧，所述第三线路33与所述第二线路32连接。也就是说，各导电单元一端汇聚到传感元件的中央以第一线路31输出，另一端发散到传感元件边缘，以实现各导电单元20的并联连接。这样有利于节省传感元件的空间，减少沉积线路30的排布，防止各导电单元20之间发生导通而破坏并联连接方式。

具体实施例中，如图1和图2所示，裂纹阵列中有若干个裂纹，两个裂纹之间的间距约50微米，每个导电单元至少有一个裂纹，当然也可以覆盖多条裂纹，本实施例中导电单元采用4行4列布置。第一线路31只有一条，第二线路32有两条，分别连通第一线路31两侧的导电单元，第三线路33和第四线路34各有16条，也就是说第一线路31和第二线路32形成总线支路，分别对应于16个导电单元，也就是说每个导电单元的第三线路33和第四线路34形成一条支路。如图6所示，第一线路31和第四线路34均连接有导线60。

本发明中采用如下步骤在柔性基底10上制作导电单元20和沉积线路30：

步骤s200、在裂纹阵列11上镀导电单元20。

具体地，采用第一掩模板40覆盖柔性基底10后镀导电单元20。第一掩模板40的制作方法如下：如图4所示，在模板上确定每一个传感单元的位置，在对应位置设置第一通孔41，第一通孔41的长和宽分别为8mm和4mm。分4行4列布置16个第一通孔41。相邻行第一通孔41之间的纵向间距为10mm之间，第一列与第二列，第三列与第四列之间各第一通孔41的横向间距为3mm之间。第一列与第四列传感单元阵列与距基底平行两侧面的距离为10mm之间。第二列与第三列传感单元阵列的间距为7mm之间。

先通过第一掩模板40进行传感单元阵列溅射镀膜，模板放置方向要与裂缝基本平行，保证使得每个第一通孔41中裂纹都与第一通孔41的短边平行。

具体地，所述导电单元20采用如下材料制成：碳纳米粒子、金纳米粒子、铂纳米粒子、银纳米粒子、铜纳米粒子、铝硼合金、铝铬合金、铁锰合金、铝铬钇合金、银铜钯合金中的一种或多种。所述导电单元20的厚度为40-60nm，根据经济性考量选择银作为靶材，喷涂约为50nm厚度的银粒子薄膜。当然沉积线路30可以采用与导电单元20一样的导电材料制成。

步骤s300、在柔性基底10上沉积连接导电单元20的沉积线路30。

具体地，去除第一掩模板40后采用第二掩模板50覆盖柔性基底10后镀沉积线路30。第二掩模板50的制作方法如下：如图5所示，确定沉积线路30的宽为1mm。且相邻沉积线路30之间的间距不小于1mm。总共布置16条支路与一条总线支路，每一条支路的位置均保证与第一次掩膜版的传感单元达到无缝连接。在第二掩模板50上设置与沉积线路30一致的第二通孔51。

当导电单元20溅射完成后，用镊子小心取下第一掩模板40，再将第二掩模板50小心贴附于柔性基底10上。两次喷涂均喷涂了50nm厚的纳米金（或者纳米银）粒子颗粒。当然，为了确保沉积线路30能顺畅通电，可以多喷涂导电材料，沉积更厚，例如厚度为60-80nm。

本发明提供了一种如上述任意实施例所述的仿生阵列传感元件的制备方法一些实施例。

所述制备方法包括以下步骤：

步骤s100、制备带有裂纹阵列的柔性基底，具体如上所述。

步骤s110、在带盖聚苯乙烯培养皿中加入定量酒精后加热，在培养皿上盖上形成裂纹阵列得到裂纹阵列模板，具体如上所述。

步骤s120、以裂纹阵列模板制备反结构模板，具体如上所述。

步骤s130、在反结构模板上旋涂柔性材料后进行脱泡处理和加热处理，并去除反结构模板得到柔性基底，具体如上所述。

步骤s200、在裂纹阵列上镀导电单元，具体如上所述。

步骤s210、采用第一掩模板覆盖柔性基底后镀导电单元，具体如上所述。

步骤s300、在柔性基底上沉积连接导电单元的沉积线路，具体如上所述。

步骤s310、去除第一掩模板后采用第二掩模板覆盖柔性基底后镀沉积线路，具体如上所述。

综上所述，本发明所提供的一种仿生阵列传感元件及其制备方法，所示仿生阵列传感元件包括：柔性基底，所述柔性基底上设置有裂纹阵列，设置在所述裂纹阵列上的若干个导电单元以及连接若干个所述导电单元的沉积线路；所述沉积线路将各导电单元并联连接。由于每个导电单元都有裂纹结构，因而形成一个独立的传感单元。各导电单元采用沉积线路连接，且采用并联方式连接。每个传感单元可以独立感知其对应感应区域内的刺激，从而获得刺激的精确位置，解决了单个传感单元精确性不高的问题。

应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。