技术特征：
技术总结
本发明公开了一种圆形截面一维纳米结构间接触热阻的测试方法，在光学显微镜或扫描电镜下，使用微操纵仪将一根圆形截面一维纳米结构掰成2段，分别搭接在悬空微器件的热源、热沉上，并使这两段样品在热源、热沉之间形成平行接触，采用热桥法对该试样进行测试，得到表观热阻Rtot1；在光学显微镜或扫描电镜下，使用微操纵仪将这两段样品由平行接触变为交叉接触，采用热桥法对该试样进行测试，得到表观热阻Rtot2；两段样品间单位面积的接触热阻可以近似为RCA＝(Rtot2‑Rtot1)×Ac2，其中Ac2为两段样品之间交叉接触的接触面积。本发明提高了测试成功率，降低了对样品质量一致性要求，提高了测试精度。
技术研发人员：杨决宽
受保护的技术使用者：东南大学
技术研发日：2019.03.20
技术公布日：2019.07.19