一种负温度系数电阻型深低温温度传感器及制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种负温度系数电阻型深低温温度传感器及制备方法，其中传感器的温度敏感膜为氮氧化铪薄膜，氮氧化铪薄膜的薄膜生长过程，通过调节反应氮氧混合气体的流量得到不同的氮氧元素比例，获得不同性能的氮氧化铪薄膜，得到氮氧化铪薄膜之后通过MEMS微加工工艺得到微型氮氧化铪深低温传感器。

技术研发人员：刘景全;林祖德
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2019.04.02
技术公布日：2019.08.16