技术总结
本发明公开了一种高灵敏度的自动光学检测方法及设备，属于光学检测技术领域。本发明的高灵敏度的自动光学检测方法，首先按照设定的多种成像模式的成像顺序在平板样品上连续移动拍摄；其次重复上述步骤直到拍摄完平板样品在多种成像模式的图像；最后通过算法将相同成像模式的图像拼接成完整的平板样品全图，同时经过缺陷检测及分析工具得到检测结果。该方法实现了在一次扫描中获取多种成像模式的图像，相机能够在不停止的状态下快速拍摄多种成像模式的图像，能够获取到不同成像模式的样品图像。另外，本发明还提供高灵敏度的自动光学检测方法来实现相机的自动聚焦，保证成像过程中总能够获取到高质量的图像。
技术研发人员：李波;王建存;张国栋
受保护的技术使用者：武汉中导光电设备有限公司
技术研发日：2019.05.27
技术公布日：2019.08.16