专利名称：自动光学检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于一种自动光学检测系统，特别是一种可校正扫描影像位移的自 动光学检测系统。
背景技术：
自动光学检测(Automated Optical Inspection, AOI)系统已广泛应用于外观检 测上，例如薄膜晶体管液晶显示器(TFT IXD)、半导体芯片与印刷电路板(PCB)等工业工艺 上。自动光学检测系统是利用光学方式取得待测产品的表面影像后，再以影像处理技术来 检出异物或图案异常等缺陷。由于影像撷取装置的视野小于待测产品的面积，因此，影像撷取装置需扫描过整 个待测产品，以便将整个待测产品成像。然而，在扫描的过程中，待测产品可能产生晃动，使 所形成的扫描影像有影像位移的情形，因而不利于后续判定缺陷的程序。综上所述，如何校正产生影像位移的扫描影像便是目前极需努力的目标。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种自动光学检测系统，其是设置适当的基准标记， 使扫描待测样品后所形成的扫描影像中具有相对应的基准标记，再利用基准标记校正所形 成扫描影像，以利后续判定待测样品是否存在缺陷。本实用新型的自动光学检测系统，包含—影像撷取装置，其用以撷取一待测样品的影像；一基准标记分析单元，其与该影像撷取装置电性连接，用以找出该影像中的一基 准标记；一影像校正单元，其与该基准标记分析单元电性连接，用以依据该基准标记校正 该影像并输出一校正影像；以及一缺陷分析单元，其与该影像校正单元电性，用以分析该校正影像是否存在缺陷。在上述自动光学检测系统中，该基准标记包含一基准线，其绘制于该待测样品的 检测表面。在上述的自动光学检测系统中，还包含一检测平台，其用以承载该待测样品，其中 该基准标记设置于该检测平台。在上述的自动光学检测系统中，该基准标记包含直线、刻度或以上的组合。在上述的自动光学检测系统中，该基准标记包含一光源，其与该影像撷取装置相 对。在上述的自动光学检测系统中，该影像撷取装置包含一线性影像传感器。在上述的自动光学检测系统中，该影像撷取装置包含一电荷耦合组件、互补式金 属氧化物半导体传感器或接触式影像传感器。在上述的自动光学检测系统中，该基准标记分析单元、该影像校正单元以及该缺陷分析单元整合成一电子装置。在上述的自动光学检测系统中，该待测样品包含一布料。本实用新型的自动光学检测系统藉由设置适当的基准标记，使扫描待测样品后所 形成的扫描影像中具有相对应的基准标记，后续影像处理过程即可利用基准标记来校正所 形成扫描影像，并判定待测样品是否存在缺陷。以下藉由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目 的、技术内容、特点及其所达成的功效。
图1为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统。图2a为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统所撷取的原始 扫描影像。图2b为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统所撷取的校正 扫描影像。图3为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统。图4a为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统所撷取的原 始扫描影像。图4b为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统所撷取的校 正扫描影像。主要组件符号说明10电子装置11影像撷取装置12基准标记分析单元13影像校正单元14缺陷分析单元20检测平台30待测样品31、31，基准标记40影像片段420检测平台影像430待测样品影像431、431，基准标记影像
具体实施方式
请参照图1，本实用新型的一实施例的自动光学检测系统包含一影像撷取装 置11、一基准标记分析单元12、一影像校正单元13以及一缺陷分析单元14。影像撷取 装置11用以撷取一待测样品30的一影像。在一实施例中，待测样品30的待测面积大 于影像撷取装置11的视野，因此，影像撷取装置11可为一线性影像传感器，例如电荷 耦合组件(Charge Coupled Device, CCD)、互补式金属氧化物半导体(ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor, CMOS)传感器或接触式影像传感器(Contact Image Sensor, CIS)。，使待测样品30相对于影像撷取装置11移动，以取得完整的待测样品30的扫描影 像。在一实施例中，待测样品30可为一布料等软性材质；本实用新型的自动光学检测系统 可包含一检测平台20。检测平台20用以承载待测样品30，使待测样品30可平整地接受影 像撷取装置11的扫描。接续上述说明，基准标记分析单元12与影像撷取装置11电性连接。基准标记分析 单元12用以找出影像撷取装置11所撷取的扫描影像中的基准标记。如图1所示的实施例 中，基准标记31可绘制于待测样品30的待测表面，影像撷取装置11所撷取的扫描影像中 即有相对的基准标记。影像校正单元13与基准标记分析单元12电性连接，用以依据影像 中的基准标记来校正影像并输出一校正影像。缺陷分析单元14与影像校正单元13电性。 缺陷分析单元14即可分析经影像校正单元13所校正的校正影像中是否存在缺陷。需注意 者，依据待测样品及/或缺陷的形式的不同，操作者可选用不同的影像处理方法以分析影 像中的缺陷。此外，于一实施例中，基准标记分析单元11、影像校正单元12以及缺陷分析单 元13可整合成一电子装置10，例如一计算机或影像处理系统。图2a为影像撷取装置11依据图1所示的实施例所撷取到的部份扫描影像。扫描 影像是由多个影像片段40所组成。每一影像片段40包含检测平台20的相对应检测平台 影像420、待测样品30的相对应待测样品影像430以及基准标记31的相对应基准标记影 像431。如图2a所示，待测样品30(例如布料)可能在相对于影像撷取装置11移动产生晃 动，使待测样品30产生影像位移的现象。基准标记分析单元12则找出影像片段40中相对 应于基准标记31的基准标记影像431，使影像校正单元13可依据基准标记31来校正扫描 影像，校正后的扫描影像如图2b所示。如此，后续的缺陷分析单元14即可在预定的影像区 域内分析是否存在缺陷。请参照图3，本实用新型另一实施例的自动光学检测系统与图1所示的实施例的 差别在于基准标记31’设置于检测平台20。待测样品30放置于检测平台20时将遮蔽部分 基准标记31’。在一实施例中，基准标记31’可为直线、刻度或以上的组合。如图4a所示， 依据影像片段40中基准标记31’的相对应基准标记影像431的长度，影像校正单元13可 判断待测样品影像430位移的方向以及距离，并加以校正，如图4b所示。同理，以标示出距 离的刻度的基准标记31’实现上述目的。或者，基准标记31’可为相同大小的黑白相间图 案，使后续影像处理过程中可用以判断距离。在另一实施例中，基准标记31’可为一光源， 其与影像撷取装置11相对。如此，在后续影像处理过程中，影像校正单元13可较为容易的 判断待测样品影像430的边界，并加以校正对齐。或者，影像校正单元13依据高亮度的基 准标记影像431，的长度来校正待测样品影像430。综合上述，本实用新型的自动光学检测系统藉由设置适当的基准标记，使扫描待 测样品后所形成的扫描影像中具有相对应的基准标记，后续影像处理过程即可利用基准标 记来校正所形成扫描影像，并判定待测样品是否存在缺陷。以上所述的实施例仅是为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在使熟悉本 技术领域者能够了解本实用新型的内容并据以实施，当不能以的限定本实用新型的专利范 围，即凡依本实用新型所揭示的精神所作的均等变化或修饰，仍应涵盖在本实用新型的专 利范围内。
权利要求一种自动光学检测系统，其特征在于，包含一影像撷取装置，其用以撷取一待测样品的影像；一基准标记分析单元，其与该影像撷取装置电性连接，用以找出该影像中的一基准标记；一影像校正单元，其与该基准标记分析单元电性连接，用以依据该基准标记校正该影像并输出一校正影像；以及一缺陷分析单元，其与该影像校正单元电性，用以分析该校正影像是否存在缺陷。
2.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该基准标记包含一基准线，其 绘制于该待测样品的检测表面。
3.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，还包含一检测平台，其用以承 载该待测样品，其中该基准标记设置于该检测平台。
4.如权利要求3所述的自动光学检测系统，其特征在于，该基准标记包含直线、刻度或 以上的组合。
5.如权利要求3所述的自动光学检测系统，其特征在于，该基准标记包含一光源，其与 该影像撷取装置相对。
6.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该影像撷取装置包含一线性 影像传感器。
7.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该影像撷取装置包含一电荷 耦合组件、互补式金属氧化物半导体传感器或接触式影像传感器。
8.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该基准标记分析单元、该影像 校正单元以及该缺陷分析单元整合成一电子装置。
9.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该待测样品包含一布料。专利摘要本实用新型涉及一种自动光学检测系统，包含一影像撷取装置、一基准标记分析单元、一影像校正单元以及一缺陷分析单元。影像撷取装置用以撷取一待测样品的影像。基准标记分析单元与影像撷取装置电性连接，用以找出影像中的基准标记。影像校正单元与基准标记分析单元电性连接，用以依据基准标记校正影像并输出一校正影像。缺陷分析单元与影像校正单元电性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自动光学检测系统可改善因待测样品晃动所造成的影像位移的问题。
文档编号G01N21/88GK201673124SQ201020187070
公开日2010年12月15日 申请日期2010年5月7日 优先权日2010年5月7日
发明者吴金来, 林君谚, 金山 申请人:上海中晶科技有限公司