一种平膜压力传感器的制作方法

本发明涉及传感器，尤其涉及一种平膜压力传感器。

背景技术：

压力传感器是用于检测管道内介质压力的装置，扩散硅mems充油芯体传感器是一种压力传感器，内部设置波纹隔膜，压力作用在隔膜上，隔膜变形，由于液体(硅油)不可被压缩，液体作用在硅杯上，使硅杯变形，达到传感器检测压力的效果，但是这种传感器的封装工艺比较复杂，充入硅油时必须要在真空环境下进行。

技术实现要素：

本技术人针对以上缺点，进行了研究改进，提供一种平膜压力传感器。

本发明所采用的技术方案如下：

一种平膜压力传感器，包括第一外壳和第二外壳，所述第一外壳下端安装在第二外壳上端，且第一外壳下端设置安装腔，安装腔内安装压力检测单元，所述第二外壳内位于压力检测单元下方焊接有金属平膜隔膜，压力检测单元下端设置压力感应膜片，所述压力感应膜片紧贴金属平膜隔膜，且第一外壳和第二外壳之间通过金属平膜隔膜密封，所述第二外壳位于金属平膜隔膜下端开设连通至外侧的通孔。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述金属平膜隔膜面积远大于压力感应膜片的面积。

所述金属平膜隔膜采用不锈钢制成。

所述金属平膜隔膜采用铜制成。

所述金属平膜隔膜厚度范围为0.05～0.1mm。

本发明的有益效果如下：所述平膜压力传感器，压力作用于金属平膜隔膜，使金属平膜隔膜变形，金属平膜隔膜再作用于压力感应膜片，通过压力感应膜片即可检测管道内的压力，金属平膜隔膜直接焊接，并将压力检测单元紧贴金属平膜即可，安装组装方便，且通过金属平膜隔膜作为密封件，取代传统的橡胶o型圈，使传感器介质兼容性更好。

附图说明

图1为本发明提供的平膜压力传感器的结构示意图。

图2为本发明提供的平膜压力传感器压力检测单元的结构示意图。

图中：1、第一外壳；11、安装腔；2、第二外壳；21、通孔；3、压力检测单元；31、压力感应膜片；4、金属平膜隔膜。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。

如图1、图2所示，实施例一的平膜压力传感器，包括第一外壳1和第二外壳2，第一外壳1下端安装在第二外壳2上端，且第一外壳1下端设置安装腔11，安装腔11内安装压力检测单元3，第二外壳2内位于压力检测单元3下方焊接有金属平膜隔膜4，压力检测单元3下端设置压力感应膜片31，压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，且金属平膜隔膜4面积远大于压力感应膜片31的面积，第一外壳1和第二外壳2之间通过金属平膜隔膜4密封，第二外壳2位于金属平膜隔膜4下端开设连通至外侧的通孔21，金属平膜隔膜4采用不锈钢制成，厚度为0.05mm。

实施例二的平膜压力传感器的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.07mm。

实施例三的平膜压力传感器的的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.1mm。

实施例一、二和三的平膜压力传感器安装时，将压力检测单元3的压力感应膜片31向下安装在第一外壳1的安装腔11内，再将金属平膜隔膜4焊接固定到第二外壳2内部，然后将第一外壳1安装到第二外壳2上端，使压力检测单元3的压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，并使第一外壳1紧贴金属平膜隔膜4，通过金属平膜隔膜4密封第一外壳1和第二外壳2，即完成传感器装配，装配完成后，通过第二外壳2将传感器连接到管路上，管路内的压力经过穿过第二外壳2上的通孔21，作用于金属平膜隔膜4上，造成金属平膜隔膜4变形，金属平膜隔膜4作用在压力感应膜片31，造成压力感应膜片31变形，即可通过压力感应膜片31感应检测管道内的压力。

以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在不违背本发明的基本结构的情况下，本发明可以作任何形式的修改。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种平膜压力传感器，包括第一外壳和第二外壳，所述第一外壳下端安装在第二外壳上端，且第一外壳下端设置安装腔，安装腔内安装压力检测单元，所述第二外壳内位于压力检测单元下方焊接有金属平膜隔膜，压力检测单元下端设置压力感应膜片，所述压力感应膜片紧贴金属平膜隔膜，且第一外壳和第二外壳之间通过金属平膜隔膜密封，所述第二外壳位于金属平膜隔膜下端开设连通至外侧的通孔，所述平膜压力传感器，安装组装方便高效，且介质兼容性更好。

技术研发人员：周敬训;谷庆伟;李晴
受保护的技术使用者：无锡莱顿电子有限公司
技术研发日：2019.05.28
技术公布日：2019.07.30