技术特征：
技术总结
一种显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括激光器、第一会聚透镜、旋转扩散器、第二会聚透镜、光阑、第三会聚透镜、针孔、第四会聚透镜、偏振片、半波片、偏振分束器、X‑Y位移平台、样品、显微镜头、四分之一波片、微偏振片阵列、相机和计算机。本发明采用微偏振片阵列实现表面缺陷实时显微散射偏振成像，通过计算偏振度图像，提升了超光滑元件表面缺陷探测的灵敏度，实现高反膜元件表面缺陷有效检测，能够满足米级大口径超光滑元件表面缺陷快速检测需求。
技术研发人员：邵建达;刘世杰;倪开灶;王圣浩;周游;王微微;徐天柱;鲁棋
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2019.07.08
技术公布日：2019.11.12