结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统与流程

技术总结
结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。

技术研发人员：郝群;胡摇;陶鑫;宁悦文
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2019.11.22
技术公布日：2020.01.14