一种多通道真空极紫外-软X射线单色仪的制作方法

文档序号:20063491发布日期:2020-03-06 08:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:包括真空腔、调节平台、ccd探测器和波带片调节台,所述真空腔设置于所述调节平台上,所述调节平台能够在三维空间内移动;所述真空腔内设置有所述波带片调节台,所述波带片调节台上设置有椭圆反射式波带片样品,所述波带片调节台能够带动所述椭圆反射式波带片样品升降和转动;所述真空腔上设置有光源进口和光源出口,所述光源进口用于与光源连接,所述光源出口与所述ccd探测器密封连接。

2.根据权利要求1所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述调节平台包括底座、横移平台和纵移平台,所述底座上设置有横移电机和两条对称设置的横移滑轨,所述横移平台的底面设置有横移滑槽,所述横移滑槽与所述横移滑轨相匹配,所述横移电机通过丝杠与所述横移平台底面设置的滑动螺母连接;所述横移平台上设置有纵移电机和两条对称设置的纵移滑轨,所述纵移平台的底面设置有纵移滑槽,所述纵移滑槽与所述纵移滑轨相匹配,所述纵移电机通过丝杠与所述纵移平台底面设置的滑动螺母连接。

3.根据权利要求2所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述纵移平台通过四个均匀设置的螺柱与所述真空腔的底板连接。

4.根据权利要求1所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述真空腔的顶面上设置有透明观察窗,所述真空腔的前侧面和后侧面设置有若干个与盲法兰相匹配的接口。

5.根据权利要求1所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述光源进口与光源、所述光源出口与所述ccd探测器之间均采用波纹管和法兰密封连接,所述光源出口的法兰为偏心法兰。

6.根据权利要求1所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述ccd探测器设置于一调节底座上,所述调节底座包括升降机构和滑移机构,所述滑移机构设置于所述升降机构上,所述ccd探测器设置于所述滑移机构上。

7.根据权利要求6所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述升降机构包括x型铰接架、滑槽底板和滑槽顶板,所述x型铰接架的底部设置于所述滑槽底板上的滑槽内,所述x型铰接架的顶部设置于所述滑槽顶板下的滑槽内,所述滑槽顶板的一侧设置有调节螺栓,所述调节螺栓的一端与所述x型铰接架的一个侧板相接触。

8.根据权利要求7所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述滑移机构包括横移机构和纵移机构,所述横移机构设置于所述滑槽顶板上,所述横移机构与所述纵移机构之间、所述纵移机构与所述ccd探测器的底板之间均通过滑轨滑槽匹配连接,所述横移机构与所述纵移机构上分别设置一丝杠滑母调节手柄。

9.根据权利要求1所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述波带片调节台包括升降机构和旋转平台,所述旋转平台上设置有所述升降机构,所述升降机构包括升降支架、丝杆和波带片夹具,所述波带片夹具的背面穿设于所述丝杆上,所述波带片夹具与所述升降支架通过滑轨滑槽匹配连接,所述丝杆的两端穿设于所述升降支架上,所述波带片夹具上设置有若干块基板,每块所述基板设置有若干个椭圆反射式波带片样品。

10.根据权利要求9所述的多通道真空极紫外-软x射线单色仪,其特征在于:所述旋转平台与所述真空腔的底板之间设置一面包板,所述旋转平台包括固定底座和旋转座,所述固定底座固定于所述面包板上,所述固定底座上设置一与所述旋转座相匹配的旋转槽,所述旋转座上设置旋转手柄。

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