技术总结
本发明公开了一种多通道真空极紫外‑软X射线单色仪，包括真空腔、调节平台、CCD探测器和波带片调节台，真空腔设置于调节平台上，调节平台能够在三维空间内移动；真空腔内设置有波带片调节台，波带片调节台上设置有椭圆反射式波带片样品，波带片调节台能够带动椭圆反射式波带片样品升降和转动；真空腔上设置有光源进口和光源出口，光源进口用于与光源连接，光源出口与CCD探测器密封连接。本发明结构紧凑、装调便易、高效率、成本低，对X射线光谱分析过程中瞄准、波长定标简单易操作，并可初步解决波长定标问题；利用实验室小型微波光源的特征光源，在真空腔的真空条件下达到波长完全定标的目的。
技术研发人员：杨祖华;曹磊峰;范全平;巫殷忠;王静;张强强;王少义;陈勇;魏来;周维民
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日：2019.12.13
技术公布日：2020.03.06