一种薄膜拉伸应变的测试器的制作方法

技术特征：

1.一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，包括水平基座(2)，水平基座(2)上方放置有测试样品(1)，测试样品(1)上方设置有显微镜(7)，所述的水平基座(2)上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)，所述的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)顶部设置有左圆柱(14)和右圆柱(15)，左圆柱(14)和右圆柱(15)与设在测试样品(1)的左圆孔(10)和右圆孔(11)对应设置，所述的测试样品(1)由紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)和基底表面微桥薄膜样品(9)组成。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)分别通过左高分辨率线性促动器(3)和右高分辨率线性促动器(4)进行调节。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左高分辨率线性促动器(3)，可采用程序控制位移量，位移精度50纳米，用来驱动左轴向线性位移台(5)；

所述的右高分辨率线性促动器(4)，采用手动调节控制位移量，位移精度0.5微米，用来驱动右轴向线性位移台(6)；

所述的左高分辨率线性促动器(3)型号是M-230；右高分辨率线性促动器(4)型号是1D1V。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)为16x32mm的矩形单晶硅样品，包括左圆孔(10)和右圆孔(11)，所述的紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)中间为基底裂纹(12)，基底裂纹(12)上部连接有圆孔(13)，下部设置有左圆孔(10)和右圆孔(11)。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的左圆孔(10)和右圆孔(11)为的通孔，圆孔(13)为的通孔。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，所述的微桥薄膜样品(9)由一系列宽w＝60微米、长度L＝400微米的条形薄膜组成，薄膜与紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)脱离，但两端仍然与附着在紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)表面的薄膜相连。