1.一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，包括基准垫片(1)、固定夹具(2)、产品测量传感器(3)和补差测量传感器(4)，所述基准垫片(1)水平设置在3D形貌测量仪的滑台(5)上，所述固定夹具(2)固定在基准垫片(1)上方，所述固定夹具(2)上侧放置待测产品，所述产品测量传感器(3)设置于固定夹具(2)上方，所述补差测量传感器(4)设置于3D形貌测量仪的滑台(5)下方。
2.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述产品测量传感器(3)和补差测量传感器(4)的中心线竖直且共线。
3.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)的厚度为700μm～1200μm。
4.根据权利要求3所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)的厚度为800μm。
5.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述固定夹具(2)包括底座(22)和支脚(21)，所述支脚(21)固定设置于底座(22)上方，支脚(21)以底座(22)竖直中心线为中心周向均匀设置有三个，三个支脚(21)顶端所在的平面与底座(22)下端面平行。
6.根据权利要求1所述的3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，其特征在于，所述基准垫片(1)为圆形垫片，基准垫片(1)直径与待测晶圆产品直径相同。