3D形貌测量误差的在线补偿测量装置的制作方法

文档序号:18386546发布日期:2019-08-09 21:18阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型实施例公开了一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置,属于产品测量设备领域,其技术方案要点包括基准垫片、固定夹具、产品测量传感器和补差测量传感器,所述基准垫片水平设置在3D形貌测量仪的滑台上,所述固定夹具固定在基准垫片上方,所述固定夹具上侧放置待测产品,所述产品测量传感器设置于固定夹具上方,所述补差测量传感器设置于3D形貌测量仪的滑台下方,达到了消除由于滑台平整度不高造成的测量误差,降低滑台生产成本的效果。

技术研发人员:宋金龙;黄英俊;马军
受保护的技术使用者:上海谦视智能科技有限公司
技术研发日:2019.02.25
技术公布日:2019.08.09

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