一种高同测数的垂直探针卡的制作方法

本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种高同测数的垂直探针卡。

背景技术：

芯片将电路通过小型化的方式集成于线路板上，目前被广泛应用于通讯、人工智能及生物等诸多领域。在对芯片进行封装前需要对其进行电特性检测，芯片的电特性检测是通过专用的检测工具实现的，在进行检测时，将检测设备的检测探针与芯片的电路板相接触后进行检测。

垂直探针卡是目前常用的一种芯片检测工具，主要包括pcb线路板和设置于pcb线路板上的探针，在进行芯片测试时，将探针插入待测芯片的测试孔后即可实现对芯片性能的测定。现有的垂直探针卡的同测数通常不超过8dut，当需要对更多点进行测定时只得使用更多的垂直探针卡，但是，由于待测芯片的面积通常较小，因而很难实现较高同测数。此外，在使用现有的垂直探针卡进行芯片测定时，为了确保探针与芯片的有效接触，必须接仅仅将探针压入待测孔中，因而，在达到一定的使用次数后会造成探针的形变，影响检测效果。

技术实现要素：

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种具有高同测数的垂直探针卡，其包括pcb板、金属触点和探针，所述pcb板上设置有至少一个金属触点，所述探针与所述金属触点电连接，所述探针为悬臂探针，所述悬臂探针包括依次连接的连接部，臂部和检测部，在每个所述金属触点处至少连接有一个悬臂探针，所述悬臂探针与所述金属触点之间设置有第一连接端口，所述第一连接端口上设置有至少一个接口部，所述接口部与所述金属触点电连接，所述悬臂探针的连接部与所述接口部相匹配连接。由于第一连接端口上设置有多个接口部，因而能够连接多个悬臂探针，因而在未增加探针卡的面积的情况下增加了垂直探针卡的同测数。

进一步的，还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述金属触点与述第一连接端口中间，所述缓冲部分别与所述金属触点和所述第一连接端口电连接。通过设置缓冲部能够防止在将垂直探针卡向芯片按压时对探针造成形变或损坏。

更进一步的，所述缓冲部与所述金属触点之间设置有第二连接端口，所述缓冲部与所述第二连接端口电连接。通过第二连接端口能够确保缓冲部与金属触点的稳定连接。

更进一步的，所述缓冲部为弹簧探针，所述弹簧探针包括设置于一个端部的伸缩接头和另一个端部的探针连接部以及与所述探针连接部连接的弹簧，所述弹簧探针的伸缩接头和探针连接部分别与所述第二连接端口和所述第一连接端口连接。因而，在利用本实用新型的探针卡进行检测时，将伸缩接头向弹簧一侧按压，随后与探针连接部相接触并形成电路通路。

更进一步的，所述弹簧探针的弹簧在处于放松状态时与所述伸缩接头不相接触，所述弹簧的外部设置有保护壳。因而，在不需要进行检测时，探针卡内的电路处于断路状态，增加了使用的安全性。

本实用新型的高同测数的垂直探针卡的所述第一连接端口、所述缓冲部和所述第二连接端口的纵向中轴线位于同一条直线上。

更进一步的，所述悬臂探针的臂部在靠近所述检测部一端与所述第一连接端口的纵向中轴线的距离大于所述臂部在靠近所述连接部一端与所述第一连接端口的纵向中轴线的距离。由此，连接于同一第一连接端口的悬臂探针能够保持足够的间距，避免各个悬臂探针在工作时造成相互干扰。

更进一步的，设置于同一所述第一连接端口上的所述悬臂探针的连接部呈与所述第一连接端口垂直设置。

本实用新型的高同测数的垂直探针卡还包括与所述pcb板固定连接的加强结构件，所述加强结构件设置于所述pcb板远离所述金属触点的一侧。因而能够增强本实用新型的探针卡的结构稳定性。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的结构示意图；

图2为本实用新型一较佳实施例的第一连接端口的接口部的结构示意图；

图3为本实用新型一较佳实施例的悬臂探针与第一连接端口的连接关系示意图；

.图4为本实用新型一较佳实施例的金属触点、第二连接端口、弹簧探针、第一连接端口和悬臂探针的连接关系示意图。

图中：

1-pcb板、2-金属触点、3-第一连接端口、31-接口部、4-弹簧探针、41-伸缩接头、42-探针连接部、43-弹簧、44-保护壳、5-第二连接端口、6-悬臂探针、61-连接部、62-臂部、63-检测部、7-加强结构件。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示，作为本实用新型的一个较佳实施例的高同测数的垂直探针卡，其包括pcb板1、金属触点2、第一连接端口3、弹簧探针4、第二连接端口5和悬臂探针6。第一连接端口3、弹簧探针4和第二连接端口5的纵向中轴线位于同一条直线上。在pcb板1的下侧面上设置有多个金属触点2，第二连接端口5与金属触点2电连接，弹簧探针4与第二连接端口5电连接，第一连接端口3与弹簧探针4电连接。如图2所示，第一连接端口3上设置有多个接口部31，悬臂探针6与第一连接端口3的接口部31相匹配连接。设置于同一个第一连接端口3上的悬臂探针5可以有多个，如图3所示，因而增加了本实用新型的探针卡的同测数。本实施例的探针卡的金属触点2、第二连接端口5、弹簧探针4、第一连接端口3和悬臂探针6依次串联连接，第一连接端口3上每个接口部31上连接的悬臂探针6与接口部31为并联连接，因而可以实现各个悬臂探针5之间的测量过程互不干扰。

本实施例的悬臂探针6包括依次连接的连接部61，臂部62和检测部63，连接部61可插接于第一连接端口3的接口部31内并与第一连接端口3电连接。如图3所示，本实施例的悬臂探针6的臂部62在靠近检测部63一端与第一连接端口3的纵向中轴线的距离大于臂部62在靠近连接部61一端与第一连接端口3的纵向中轴线的距离，因而，悬臂探针6的臂部62呈分散式与第一连接端口3连接，使得各个悬臂探针6之间保持足够的测量距离。设置于同一第一连接端口3上的悬臂探针6的连接部61呈与第一连接端口3垂直设置，因而能够在同一连接端口3上插接多个悬臂探针6，更进一步增大了本实用新型的探针卡的同测数。

如图4所示，本实施例的弹簧探针4包括伸缩接头41、探针连接部42以及与探针连接部42连接的弹簧43和保护壳44，弹簧探针4的伸缩接头41可与第二连接端口5电连接，弹簧探针4的探针连接部42与第一连接端口3电连接，弹簧43在处于放松状态时与伸缩接头41不相接触，保护壳44设置于弹簧43的外部，保护壳44采用具有绝缘性的材料(如塑料)制备，在使用探针卡时，伸缩接头41能够在按压力的作用下伸入保护壳44内并朝向弹簧43收缩的方向运动，并进一步与弹簧43接触从而形成连接通路以实现检测功能。

本实施例的探针卡还包括与pcb板1固定连接的加强结构件7，加强结构件7设置于pcb板1的远离金属触点2的一侧。加强结构件7与pcb板1通过螺栓固定连接，因而能够增强本实用新型的探针卡的结构稳定性，此外在加强结构件7上还设置有安装槽和安装孔，以便于将本实用新型的探针卡与其他电路元件相连接。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。