一种晶粒转载称重装置的制作方法

本实用新型涉及一种测量称重设备，尤其涉及一种晶粒转载称重装置。

背景技术：

半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，为了满足量产上的需求，半导体的电性必须是可预测并且稳定的，因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求。常见的品质问题包括晶格的错位、双晶面，或是堆栈错误都会影响半导体材料的特性。对于一个半导体而言，材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因，一般需要对晶粒在湿式制程设备上进行处理。

针对需大量批次处理的晶粒，需放置至承载盘，使用机械手将晶粒从一般承载盘(tray)放置至耐酸碱的承载盘(载具)后，进行化学品处理。处理完成后，则反向进行。在拿取晶粒过程中怕会有遗漏的晶粒，一般是使用光学方式确认，光学式方式虽然能够准确确认承载的晶粒数，但使用成本高昂，且较为费时，降低了生产效率。

技术实现要素：

本实用新型正是针对现有技术存在的不足，提供了一种晶粒转载称重装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种晶粒转载称重装置，包括轨道、滑车、承载盘、伸缩杆、托板和电子秤，所述轨道为u形槽轨，开口端向上，滑车对称安装在轨道的两侧，承载盘放置在滑车上，所述伸缩杆竖直安装在u形槽轨内腔底部，且位于承载盘上晶粒转载位置处，托板为水平板，托板底面与伸缩杆顶端垂直连接，电子秤放置在托板上，电子秤的托盘设为四个均匀布置的竖直杆，竖直杆顶端位于承载盘下方，电子秤的数字显示端对应的轨道面设有开槽。

进一步的，所述电子秤的称重精度为单粒晶粒重量值的后一位。

进一步的，所述滑车的一侧外缘设有凸起的卡板。

进一步的，所述轨道末端设有位置传感器和时间继电器，位置传感器、时间继电器、伸缩杆依次电联接。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的一种晶粒转载称重装置，结构简单，操作便捷，当晶粒从一般承载盘完成移载至耐酸碱承载盘后，电子秤量测一般承载盘重量，确认是否有移载失败，反之，当完成反应后，晶粒由耐酸碱承载盘移至一般承载盘后，电子秤量测耐酸碱承载盘确认是否移载完成，能够快速确认晶粒是否移载完成，且费用低廉，提高了加工效率。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种晶粒转载称重装置结构示意图；

图2为图1中的a向视图。

具体实施方式

为了清楚了解本实用新型的技术方案，将在下面的描述中提出其详细的结构。显然本实用新型实施例的具体施行并不足限于本领域的技术人员所熟习的特殊细节。本实用新型的优选实施例详细描述如下，除详细描述的这些实施例外，还可以具有其他实施方式。

如图1和图2所示，所述的一种晶粒转载称重装置，包括轨道1、滑车2、承载盘3、伸缩杆4、托板5和电子秤6，所述轨道1为u形槽轨，开口端向上，滑车2对称安装在轨道1的两侧，承载盘3放置在滑车2上，所述伸缩杆4竖直安装在u形槽轨内腔底部，且位于承载盘3上晶粒转载位置处，托板5为水平板，托板5底面与伸缩杆4顶端垂直连接，电子秤6放置在托板5上，电子秤6的托盘设为四个均匀布置的竖直杆7，竖直杆7顶端位于承载盘3下方，电子秤6的数字显示端对应的轨道1面设有开槽8，便于对电子秤6的称重数值进行观察。

所述电子秤6的称重精度为单粒晶粒重量值的后一位，提高电子秤6测量精度的同时，确保承载盘3上晶粒全部移出。

所述滑车2的一侧外缘设有凸起的卡板9，方便滑车2运动过程中对于承载盘3的夹持，保持稳定的同时，避免电子秤6的托盘竖直杆7与承载盘3之间剧烈晃动，影响测量结果。

所述轨道1末端设有位置传感器10和时间继电器11，位置传感器10、时间继电器11、伸缩杆4依次电联接，滑车2将承载盘3运输至轨道1的末端，位置传感器10工作，并将检测的信号通过实践继电器11传输至伸缩杆4的控制开关，控制伸缩杆4升起，使得电子秤6对承载盘进行称重。

综上，本实用新型提供的一种晶粒转载称重装置：所述的一种晶粒转载称重装置，结构简单，操作便捷，当晶粒从一般承载盘3完成移载至耐酸碱承载盘3后，电子秤6量测一般承载盘3重量，确认是否有移载失败，反之，当完成反应后，晶粒由耐酸碱承载盘3移至一般承载盘3后，电子秤6量测耐酸碱承载盘3确认是否移载完成，能够快速确认晶粒是否移载完成，且费用低廉，提高了加工效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。