半潜式真空室入射透镜清洗装置的制作方法

文档序号:20097656发布日期:2020-03-17 14:56阅读:209来源:国知局
半潜式真空室入射透镜清洗装置的制作方法

本实用新型涉及光谱仪,特别涉及一种半潜式真空室入射透镜清洗装置。



背景技术:

光谱仪真空室透镜距离样品台较近,样品激发时产生的蒸发气体会污染入射透镜,致使光谱仪的测量精度显著下降。由于入射透镜处的作用主要是把真空环境和大气环境分隔开,已有的镜片保护方式为吹氩气保护,但这种方式长时间使用依然会污染镜片,清洗时需要破坏真空环境。本实用新型可以在不破坏真空环境的情况下方便快捷清洗镜片。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型的目的是提供一种半潜式真空室入射透镜清洗装置,可实现不破坏真空环境就能方便快捷清洗镜片。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:

半潜式真空室入射透镜清洗装置,包括前挡板、透镜安装板、后挡板和连接板,所述前挡板的一侧四周与后挡板的四周可拆卸连接在一起,所述前挡板的另一侧四周与连接板的四周可拆卸连接在一起,所述连接板的另一侧四周与样品台一侧可拆卸连接在一起,所述后挡板的另一侧四周与真空室一侧可拆卸连接在一起,所述前挡板、后挡板和连接板中部分别设有直径一致的圆柱形通孔,所述前挡板和后挡板的前后两侧通孔周向上分别设有圆环形密封橡胶圈,所述连接板右侧通孔周向上设有圆环形橡胶密封圈,所述透镜安装板上设有可与通孔同轴的安装孔,透镜安装在透镜安装孔内,所述透镜安装板可滑动设置在前挡板与后挡板间,所述透镜安装板上端高于前挡板和/后挡板,所述透镜安装板上端上垂直设有上限位件,所述上限位件位于前挡板和/后挡板顶部上,下端上垂直设有下限位件,所述前挡板和/后挡板朝向透镜安装板侧的通孔下方竖直设有滑槽,所述下限位件可在滑槽中滑动。

进一步,所述透镜安装板的上部设有手拉环。

进一步,所述手拉环为设置在透镜安装板上的圆孔。

进一步,所述前挡板侧面上设有可与其通孔相连通的氩气进气孔。

进一步,所述限位件为螺丝。

进一步,所述前挡板的一侧四角与后挡板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起,所述前挡板的另一侧四角与连接板的四角通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起,所述连接板的另一侧四角与样品台一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起,所述后挡板的另一侧四角与真空室一侧通过螺丝穿过螺纹孔连接在一起,所述螺纹孔对应螺丝的帽端为沉头孔。

进一步,所述通孔周向设置有环形槽,所述密封橡胶圈固定在环形槽内。

更进一步,所述密封橡胶圈在轴向上的厚度为3mm,环形槽在轴向上的厚度为2mm。

再进一步,所述所述前挡板和后挡板顶部下凹形成槽,所述槽的宽度与透镜安装板在左右方向上的宽度一致。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型的半潜式真空室入射透镜清洗装置,通过在前挡板与后挡板间设置可滑动的透镜安装板,透镜安装板两侧分别与前挡板和后挡板上通孔周向的密封橡胶圈紧密接触,在滑动透镜安装板时由于上下限位件的作用,透镜安装板不会离开密封橡胶圈,不会破坏真空环境,当然也能使透镜与通孔对齐,向上拉到一定程度后可使透镜显露在前挡板和后挡板外,此时清洗透镜很方便。

本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本实用新型的实践中得到教导。本实用新型的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。

附图说明

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细描述,其中:

图1为本实用新型立体图。

图2为本实用新型分解示意图。

图3为图1中前挡板立体图。

图4为图1中透镜安装板立体图。

具体实施方式

以下将参照附图,对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。应当理解,优选实施例仅为了说明本实用新型,而不是为了限制本实用新型的保护范围。

如图1-4所示,半潜式真空室入射透镜清洗装置,包括前挡板1、透镜安装板2、后挡板3和连接板4,前挡板1的一侧四周与后挡板3的四周可拆卸连接在一起,前挡板1的另一侧四周与连接板4的四周可拆卸连接在一起,连接板4的另一侧四周与样品台一侧可拆卸连接在一起,后挡板3的另一侧四周与真空室一侧可拆卸连接在一起,具体连接位置可也在四角上,也可以在四边中部上,真空室和样品台为现有技术,前挡板1、后挡板3和连接板4中部分别设有直径一致的圆柱形通孔5,光束从通孔中穿过,前挡板1和后挡板3的前后两侧通孔周向上分别设有圆环形密封橡胶圈,连接板4右侧通孔周向上设有圆环形橡胶密封圈,透镜安装板2上设有可与通孔同轴的安装孔6,透镜安装在透镜安装孔6内,透镜安装板2可滑动设置在前挡板1与后挡板3间,因此透镜安装板2在左右方向上的宽度必定小于前挡板1、后挡板3在左右方向上的宽度,前挡板1和后挡板3顶面中部下凹,凹面在左右方向上的宽度与透镜安装板2的宽度一致,这样可减少透镜安装板2的移动距离,透镜安装板上端高于前挡板1和/后挡板3,以方便手握拉出,透镜安装板2上端上垂直设有上限位件,上限位件位于前挡板1和/后挡板3顶部上,下端上垂直设有下限位件,前挡板1和/后挡板3朝向透镜安装板2侧的通孔下方竖直设有滑槽7,下限位件可在滑槽7中滑动。

透镜安装板2的上部设有手拉环,手指穿过手拉环拉出透镜安装板2。

手拉环为设置在透镜安装板上的圆孔8,手指穿过圆孔8拉出透镜安装板。

前挡板1侧面上设有可与其通孔相连通的氩气进气孔9,氩气起保护作用,可降低清洗镜片的频率。

优选的,限位件为螺丝。

前挡板1的一侧四角与后挡板3的四角通过螺丝穿过螺纹孔10连接在一起,前挡板1的另一侧四角与连接板4的四角通过螺丝穿过螺纹孔10连接在一起,连接板4的另一侧四角与样品台一侧通过螺丝穿过螺纹孔10连接在一起,后挡板3的另一侧四角与真空室一侧通过螺丝穿过螺纹孔10连接在一起,螺纹孔对应螺丝10的帽端为沉头孔11,可使前挡板1、后挡板3和连接板4表面平整。

通孔5周向设置有环形槽12,密封橡胶圈固定在环形槽12内,密封橡胶圈固定更牢靠。

优选的密封橡胶圈在轴向上的厚度为3mm,环形槽12在轴向上的厚度为2mm。

该装置在使用时,透镜安装板2上部的限位件与前挡板1和/后挡板3顶面接触时,透镜与通孔对齐,当要清洗透镜时,上拉透镜安装板2,当下限位件滑到滑槽7顶部时,透镜显露出来,此时可清洗透镜,使用方便,由于透镜安装板2两侧分别与前挡板1和后挡板3上通孔周向的密封橡胶圈紧密接触,因此不会破坏真空环境。

最后说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

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