气体吸收分光装置的制作方法

文档序号:22186754发布日期:2020-09-11 21:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体吸收分光装置,其特征在于,具有:

波数可变激光光源;

光检测器,检测从所述波数可变激光光源射出的、通过了测量对象气体的激光的强度;

激光驱动机构,将驱动电流供给至所述波数可变激光光源,以使所述激光在规定的波数范围内反复扫描;

压力关联值获取机构,获取所述测量对象气体的压力的值或者与该压力同步地变化的值而作为压力关联值;

控制机构,控制所述激光驱动机构,以与所述压力关联值相对应地使进行所述扫描的波数范围变化。

2.如权利要求1所述的气体吸收分光装置,其特征在于,

还具有表格存储机构,将分别规定了扫描波数宽度不同的扫描波形的多个表格与所述压力关联值相关联地存储,

所述控制机构从所述表格存储机构读取所述多个表格中与由所述压力关联值获取机构所获取的所述压力关联值相对应的表格,并根据该表格控制所述激光驱动机构。

3.如权利要求1所述的气体吸收分光装置,其特征在于,还具有:

多项式拟合部,在波数的各点处在规定的波数宽度的范围内通过近似多项式对由所述光检测器检测到的光强度的变化的曲线进行拟合;

微分曲线生成部,基于所述各点的近似多项式的各项的系数,生成所述曲线的包括零阶的n阶微分曲线;

物理量确定机构,基于所述包括零阶的n阶微分曲线,确定所述测量对象气体中所含的特定气体的温度、浓度以及分压中的至少一个,

所述多项式拟合部根据由所述压力关联值获取机构所获取的所述压力关联值使进行所述拟合的波数宽度变化。

4.如权利要求1所述的气体吸收分光装置,其特征在于,

所述激光驱动机构以规定的调制振幅且以规定的调制频率调制所述驱动电流,

所述气体吸收分光装置还具有解调机构,从所述光检测器的检测信号提取所述调制频率的分量或者所述调制频率的高次谐波分量,

所述控制机构还控制所述激光驱动机构,以与所述压力关联值相对应地使所述调制振幅变化。

5.如权利要求1所述的气体吸收分光装置,其特征在于,

所述测量对象气体为发动机的燃烧室内的气体,且

所述压力关联值为所述发动机的曲柄角。


技术总结
本发明提供一种气体吸收分光装置,具备:波数可变激光光源(113);光检测器(114),检测从波数可变激光光源射出的、通过了测量对象气体的激光的强度;激光驱动机构(112),将驱动电流供给至波数可变激光光源(113),以使激光在规定的波数范围内反复扫描,在该装置中设置:压力关联值获取机构(117),获取作为测量对象气体的压力的值或者与该压力同步地变化的值的压力关联值;控制机构(131),控制激光驱动机构(112),以根据所述压力关联值使进行所述扫描的波数范围变化。由此,即使在测量对象气体的压力变化且要求高速响应性的情况下,也能够以从低压到高压的较宽的压力范围进行高精度的测量。

技术研发人员:胜秀昭;村松尚;松田直树;森谷直司
受保护的技术使用者:株式会社岛津制作所
技术研发日:2019.01.15
技术公布日:2020.09.11
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