MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备与流程

文档序号:20913961发布日期:2020-05-29 13:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种加速度计的应用方法,其特征在于,基于所述加速度计在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述加速度计包括检测电容,所述检测信号为由所述检测电容所限定的电容测量值,通过所述电容测量值反映加速度和外力作用。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,设置电容测量值参照限,根据所述电容测量值和所述电容测量值参照限的对比来确定所述加速度计是否受到外力作用。

4.一种加速度计,其特征在于,采用如权利要求1-3任一所述的方法感应外力作用。

5.一种陀螺仪的应用方法,其特征在于,基于所述陀螺仪在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,将所述检测信号中的正交误差信号用于反映外力作用。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,设置正交误差参照限,根据所述正交误差信号和所述正交误差参照限的对比来确定所述陀螺仪是否受到外力作用。

8.一种陀螺仪,其特征在于,采用如权利要求5-7任一所述的方法感应外力作用。

9.一种传感器,其特征在于,包括如权利要求4所述的加速度计或/和如权利要求8所述的陀螺仪。

10.一种电子设备,其特征在于,包括加速度计或/和陀螺仪,将所述加速度计和所述陀螺仪中的至少一个用于感应外力作用;所述加速度计采用如权利要求1-3任一所述的方法感应外力作用;所述陀螺仪采用如权利要求5-7任一所述的方法感应外力作用。


技术总结
本发明提供了MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备,包括一种加速度计的应用方法,其基于所述加速度计在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括一种陀螺仪的应用方法,其基于所述陀螺仪在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响,将所述检测信号也用于反映外力作用;还包括使用上述方法的电子设备。

技术研发人员:邹波;刘爽;黄岩
受保护的技术使用者:深迪半导体(上海)有限公司
技术研发日:2020.02.26
技术公布日:2020.05.29
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