适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块的制作方法

[0001]
本发明与探针卡的探针模块有关，特别是指一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元(multi-uut)的探针模块。


背景技术：

[0002]
请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unit under test；简称uut)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，各第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线l，且靠近假想分界轴线l的列，例如图1中一中间区块14所包含的，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线l，而距离假想分界轴线l较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，其较靠近基板13第一长边131的一端也较靠近假想分界轴线l，较远离基板13第一长边131的一端则也较远离假想分界轴线l，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线l越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线l的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线l的角度θ1、θ2最大。
[0003]
待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示一对应最左边的第二导电接点12的探针17，实际上每一导电接点11、12均对应一探针，探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第二长边132外侧上方的探针座18延伸至导电接点12上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点12。
[0004]
然而，由于待测单元10具有倾斜角度不一致的倾斜导电接点，其检测所需的探针难以配置于探针座上，尤其对于多待测单元的检测，即同时检测至少二待测单元10，将会有探针17相互干涉的疑虑，因此目前仍未有适用的检测装置。


技术实现要素：

[0005]
针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针模块，其适用于类同上述的具有倾斜导电接点的多待测单元的检测，以避免探针相互干涉。
[0006]
为达到上述目的，本发明所提供的一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测多个待测单元，其特征在于：各所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述多个待测单元中包含一第一待测单元及一第二待测单元，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元的导
电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第一主边缘及第二侧边缘的第一交界接点，所述第二待测单元的导电接点中包含一邻近所述第二待测单元的第一主边缘及第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：至少一探针座；多个探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与所述探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于所述外露部；其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述多个探针中包含设置于所述第一探针座且位于不同高度的一第一交界探针及一第二交界探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘较第二主边缘更靠近所述第一探针座，所述第一交界探针及所述第二交界探针以其悬臂段分别经过所述第一待测单元及所述第二待测单元的第一主边缘上方而分别延伸至所述第一交界接点及所述第二交界接点上方进而以其点触段分别点触所述第一交界接点及所述第二交界接点。
[0007]
上述本发明的技术方案中，各所述待测单元的导电接点中包含多个沿所属待测单元的第一主边缘排成一行的第一导电接点，所述第一待测单元的第一导电接点中包含所述第一交界接点，所述第二待测单元的第一导电接点中包含所述第二交界接点；所述多个探针中包含设置于所述第一探针座的多个第一探针及多个第二探针，各所述第一探针在所述第一探针座形成一第一针层，各所述第二探针在所述第一探针座形成一与所述第一针层不同高度的第二针层，各所述第一探针中包含所述第一交界探针，各所述第二探针中包含所述第二交界探针；当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述第一探针分别以其点触段点触所述第一待测单元的第一导电接点，各所述第二探针分别以其点触段点触所述第二待测单元的第一导电接点。
[0008]
各所述待测单元的导电接点中包含多个沿所属待测单元的第一主边缘排成一行的第一导电接点，所述第一待测单元的第一导电接点中包含所述第一交界接点，所述第二待测单元的第一导电接点中包含所述第二交界接点；所述多个探针中包含设置于所述第一探针座的多个第一探针及多个第二探针，各所述第一探针中包含所述第一交界探针，各所述第二探针中包含所述第二交界探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述第一探针分别以其点触段点触所述第一待测单元的第一导电接点，各所述第二探针分别以其点触段点触所述第二待测单元的第一导电接点；各所述第一探针及第二探针在所述第一探针座形成多个不同高度的针层，所述第一交界探针与所述第二交界探针位于不同针层。
[0009]
所述第一探针座的针层中包含一第一针层，以及一低于所述第一针层的第二针层，所述第一交界探针及所述第二交界探针其中之一位于所述第一针层，其余的第一探针及第二探针位于所述第二针层。
[0010]
各所述第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，各所述第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或朝所述第一假想分界线靠近地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；各所述第二探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第二假想分界线，各所述第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
[0011]
各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所属待测单元的第二主边缘的第二导电接点；所述探针模块的至少一探针座中更包含一第二探针座，所述探针模块的探针
中包含多个设置于所述第二探针座的第三探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，至少部分的第三探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第二主边缘上方而延伸至各所述第二导电接点上方进而以其点触段点触各所述第二导电接点。
[0012]
各所述待测单元的第二导电接点实质上平行于一水平假想轴线地排成多个行，其顺序自所述第二主边缘朝所述第一主边缘的方向排列；各所述第三探针以实质上对应各所述第二导电接点的排列方式形成高度不同的多个针层，其顺序是由下而上地对应第二导电接点的所述多个行的顺序。
[0013]
所述多个待测单元中还包含一第三待测单元及一第四待测单元，所述第三待测单元的第一主边缘与所述第一待测单元的第二主边缘相邻，所述第四待测单元的第一主边缘与所述第二待测单元的第二主边缘相邻；当所述探针模块检测各所述待测单元时，部分的第三探针以其点触段点触所述第三待测单元及第四待测单元的全部导电接点。
[0014]
各所述第三探针形成高度不同的多个针层，位置越高的针层的第三探针用于点触距离所述第二探针座越远的导电接点，且位置越高的针层的第三探针的悬臂段越长。
[0015]
所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一假想分界轴线、一第一假想分界线及一第二假想分界线，所述第一假想分界线及所述第二假想分界线分别位于所述假想分界轴线的一第一侧及一第二侧，位于所述假想分界轴线第一侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜，位于所述假想分界轴线第二侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
[0016]
各所述探针的固定部与外露部实质上呈一直线。
[0017]
各所述探针的固定部包含有一内侧区段及一外侧区段，各所述探针的固定部的内侧区段与外露部连接且与外露部实质上呈一直线，各所述探针的固定部的外侧区段实质上相互平行。
[0018]
为达到上述目的，本发明还提供了一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于包含有：至少一探针座；多个探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与所述探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于所述外露部；其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述多个探针中包含设置于所述第一探针座且位于不同高度的一第一交界探针及一第二交界探针，所述第一交界探针及所述第二交界探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离实质上相同。
[0019]
其中，所述第一交界探针的外露部及所述第二交界探针的外露部非垂直于所述第一探针座内侧面地呈倾斜且其倾斜方向实质上相互对称。
[0020]
所述多个探针中包含设置于所述第一探针座的多个第一探针及多个第二探针，各所述第一探针在所述第一探针座形成一第一针层，各所述第二探针在所述第一探针座形成一与所述第一针层不同高度的第二针层，各所述第一探针中包含所述第一交界探针，各所述第二探针中包含所述第二交界探针，各所述第一探针及第二探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离实质上相同。
[0021]
所述多个探针中包含设置于所述第一探针座的多个第一探针及多个第二探针，各所述第一探针及第二探针的点触段末端与所述第一探针座内侧面的垂直距离实质上相同，各所述第一探针中包含所述第一交界探针，各所述第二探针中包含所述第二交界探针，各所述第一探针及第二探针在所述第一探针座形成多个不同高度的针层，所述第一交界探针与所述第二交界探针位于不同针层。
[0022]
所述第一探针座的针层中包含一第一针层，以及一低于所述第一针层的第二针层，所述第一交界探针及所述第二交界探针其中之一位于所述第一针层，其余的第一探针及第二探针位于所述第二针层。
[0023]
各所述第一探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第一假想分界线，各所述第一探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或朝所述第一假想分界线靠近地相对于所述第一假想分界线呈倾斜；各所述第二探针能定义出一垂直于所述第一探针座的内侧面的第二假想分界线，各所述第二探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或朝所述第二假想分界线靠近地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
[0024]
所述探针模块的至少一探针座中还包含一第二探针座，所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第二探针座的第三探针，各所述第三探针在所述第二探针座形成高度不同的多个针层，位置越高的针层的第三探针的悬臂段的外露部越长。
[0025]
所述第二探针座能定义出垂直于其内侧面的一假想分界轴线、一第一假想分界线及一第二假想分界线，所述第一假想分界线及所述第二假想分界线分别位于所述假想分界轴线的一第一侧及一第二侧，位于所述假想分界轴线第一侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第一假想分界线或远离所述第一假想分界线地相对于所述第一假想分界线呈倾斜，位于所述假想分界轴线第二侧的探针的外露部自所述内侧面延伸而出的方向平行于所述第二假想分界线或远离所述第二假想分界线地相对于所述第二假想分界线呈倾斜。
[0026]
各所述探针的固定部与外露部实质上呈一直线。
[0027]
各所述探针的固定部包含有一内侧区段及一外侧区段，各所述探针的固定部的内侧区段与外露部连接且与外露部实质上呈一直线，各所述探针的固定部的外侧区段实质上相互平行。
[0028]
采用上述技术方案，本发明主要针对相邻待测单元的相邻侧边缘邻近第一主边缘的处的导电接点，亦即第一、二交界接点，本发明的探针模块是通过邻近待测单元的第一主边缘的第一探针座从不同高度延伸而出的第一、二交界探针分别点触第一、二交界接点。所述探针模块用于点触各待测单元的其他导电接点的探针配置则无限制。
[0029]
由于第一、二交界探针位于不同高度，即使第一、二交界接点朝向第一主边缘的延伸方向相互靠近，第一、二交界探针的悬臂段的外露部自第一探针座延伸而出的方向仍可配合第一、二交界接点的延伸方向，以避免探针在点测时意外滑动至非对应的导电接点上，即，第一、二交界探针的悬臂段的外露部可自第一探针座倾斜延伸而逐渐朝对应的交界接点靠近，即使所需的倾斜角度很大，使得第一、二交界探针的悬臂段彼此相当靠近或甚至必须部分位于同一垂直面上，第一、二交界探针因位于不同高度而可避免相互干涉。
[0030]
事实上，由第一探针座的不同高度延伸而出的探针，不限于用于点触如前述的邻
近第一主边缘的第一、二交界接点，而可适用于任何位置的可能造成同高度的探针过于靠近或相互干涉的导电接点，以通过将可能造成前述问题的导电接点所对应的探针(在本发明中均称为第一、二交界探针)设置于不同高度而达到避免探针干涉的功效。
附图说明
[0031]
图1是一具有倾斜导电接点的待测单元、一探针及一探针座的顶视示意图；
[0032]
图2是本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块、一第一待测单元及一第二待测单元的顶视示意图，但未显示出探针模块的第三探针；
[0033]
图3概为图2的右视图，其中更显示出探针模块的第三探针以及一电路板；
[0034]
图4类同于图2，其中显示的探针仅为一部份的第三探针；
[0035]
图5类同于图4，其中显示的探针仅为另一部份的第三探针；
[0036]
图6类同于图5，其中显示的探针仅为又一部份的第三探针；
[0037]
图7类同于图2，但图7中探针的固定部与外露部呈一直线；
[0038]
图8是本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块以及第一至第四待测单元的顶视示意图，但其中显示的探针仅为一部份的第三探针；
[0039]
图9是图8的右视图，但其中更显示出探针模块的其他探针。
具体实施方式
[0040]
现举以下实施例并结合附图对本发明的结构、特点、组装或使用方式及功效进行详细说明。然而，在本发明领域中具有通常知识者应能了解，这些详细说明以及实施本发明所列举的特定实施例，仅用于说明本发明，并非用来限制本发明的专利保护范围。
[0041]
申请人首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的参考号码，表示相同或类似的元件或其结构特征。需注意的是，图式中的各元件及构造为例示方便并非依据真实比例及数量绘制，且若实施上为可能，不同实施例的特征也可以交互应用。
[0042]
请参阅图2至图6所示，本发明一第一较佳实施例所提供的探针模块20主要包含有一第一探针座21、一第二探针座22，以及多个探针30a～30e。
[0043]
各探针30a～30e由导电材料(例如金属)制成的直线针通过机械加工弯曲而成，如图3所示，各探针30a～30e包含有一悬臂段31及一点触段32，悬臂段31具有一与第一探针座21或第二探针座22固接的固定部311，以及一连接于固定部311且自第一探针座21的一内侧面211或第二探针座22的一内侧面221延伸而出的外露部312。如图2及图4～图6所示，部分的探针30a～30e的悬臂段31未经弯折而使其固定部311与外露部312呈一直线，而另一部分的探针30a～30e的悬臂段31则经由弯折而使其固定部311与外露部312非呈一直线。如图3所示，各探针30a～30e的点触段32自外露部312末端向下延伸。
[0044]
第一探针座21及第二探针座22由绝缘材料(例如俗称黑胶的环氧树脂)制成，第一、二探针座21、22以其内侧面211、221相面对地设置，且通常为固定于一电路板40的底面41(如图3所示)，使得电路板40、第一、二探针座21、22以及各探针30a～30e结合成一探针卡。
[0045]
在本发明的实施例中，各探针30a～30e的固定部311位于第一或第二探针座21、22内，其固定方式是利用黑胶同时将同一针层(详述于下文)的探针设置于探针座上的预定位
置，再将黑胶烤干而使探针固定于探针座上。然而，各探针30a～30e的固定部311也可通过黏胶固定于第一或第二探针座21、22的外表面。各探针30a～30e可更具有一自第一探针座21的一外侧面212或第二探针座22的一外侧面222延伸而出的连接段(图中未示)，以通过连接段电性连接于电路板40底面41的导电接点(图中未示)。
[0046]
详而言之，本实施例中的倾斜探针30a～30e(外露部312呈倾斜者)的固定部311包含有一与外露部312连接的内侧区段311a，以及一自内侧区段311a延伸至探针座外侧面而与前述的连接段连接的外侧区段311b，内侧区段311a与外露部312成一直线而呈倾斜，外侧区段311b则与前述的连接段成一直线且垂直于探针座的内、外侧面(即平行于未倾斜的探针)，如此的探针形成倾斜的方式，是先根据所对应的导电接点的延伸方向d2(详述于下文)将直线针摆放于探针座上并以黑胶固定其固定部311的内侧区段311a，以将探针的外露部312固定于所需的角度(即平行于对应的导电接点的延伸方向d2)，此时探针已固定于探针座上，再弯折其固定部311而使其外侧区段311b连同连接段垂直于探针座的内、外侧面，然后再以黑胶固定外侧区段311b，如此的方式可利于弯折作业的进行，并可使探针的弯折角度固定良好而不易回弹。
[0047]
本发明的探针模块用于进行多待测单元的检测，也就是同时检测多个待测单元，例如，本实施例的探针模块20用于同时检测一第一待测单元50a及一第二待测单元50b。本发明的实施例中的待测单元与先前技术中所述的待测单元10(如图1所示)相同，但为了更明确地描述本发明的特征，在实施例中以不同的描述方式搭配与图1中不同的元件标号而更进一步地说明待测单元。
[0048]
如图2及图3所示，各待测单元50a、50b的一上表面56具有朝向相反方向的第一、二主边缘51、52(通常为长边)、连接第一、二主边缘51、52且朝向相反方向的第一、二侧边缘53、54(通常为短边)，以及多个导电接点55a～55d，第一待测单元50a的第二侧边缘54与第二待测单元50b的第一侧边缘53相邻。当探针模块20检测各待测单元50a、50b时，第一、二探针座21、22分别位于待测单元50a、50b的第一主边缘51外侧上方及第二主边缘52外侧上方，换言之，各待测单元50a、50b的第一主边缘51比第二主边缘52更靠近第一探针座21，各待测单元50a、50b的第二主边缘52比第一主边缘51更靠近第二探针座22，探针模块20为整体(连同前述的电路板40)向下移动进而以各探针30a～30e点触各导电接点55a～d。
[0049]
在此须先说明的是，本发明是将探针30a～30e的点触方向d1(如图3所示)定义为向下，并以此为基准描述其他特征的方向性(例如上、下、顶、底等用语)，例如，各待测单元50a、50b设有导电接点55a～55d的上表面56即为面向点触方向d1的相反方向的表面，前述电路板40固设第一、二探针座21、22的底面41即为面向点触方向d1的表面。然而，前述的方向性只是描述各特征是趋于点触方向d1(例如向下)或点触方向d1的相反方向(例如向上)，而非毫无误差地符合点触方向d1或点触方向d1的相反方向，例如，各探针30a～30e的点触段32自外露部312末端向下延伸，其意思可包含点触段32朝点触方向d1延伸，或者，点触段32如图3所示地趋于点触方向d1地相对点触方向d1呈倾斜。
[0050]
在各待测单元50a、50b中，各导电接点55a～55d具有一朝向第一主边缘51的第一端551以及一朝向第二主边缘52的第二端552，为简化图式，仅在图4中的三导电接点上标示出其第一端551及第二端552，各导电接点55a～55d能定义出一自其第二端552往第一端551的延伸方向d2。如图2所示，在本实施例中，各待测单元50a、50b能定义出一假想分界轴线
a1，各待测单元50a、50b的假想分界轴线a1与第一侧边缘53之间的导电接点55a～55d的延伸方向d2平行于假想分界轴线a1(例如位于图4所标示的中间区块57的导电接点)或朝第一侧边缘53靠近地相对于假想分界轴线a1呈倾斜(例如位于图4所标示的左侧区块58的导电接点)，各待测单元50a、50b的假想分界轴线a1与第二侧边缘54之间的导电接点55a～55d的延伸方向d2平行于假想分界轴线a1(例如位于图4所标示的中间区块57的导电接点)或朝第二侧边缘54靠近地相对于假想分界轴线a1呈倾斜(例如位于图4所标示的右侧区块59的导电接点)。更明确地说，在假想分界轴线a1附近的导电接点55a～55d(位于中间区块57者)的延伸方向d2平行于假想分界轴线a1，距离假想分界轴线a1越远的导电接点55a～55d，其相对于假想分界轴线a1倾斜的程度越大。
[0051]
如图2及图4至图6所示，在各待测单元50a、50b中，各导电接点55a～55d区分为邻近于第一主边缘51的第一导电接点55a，以及邻近于第二主边缘52的第二导电接点55b～55d，其中，第二导电接点55b实质上平行于一水平假想轴线a2地沿第二主边缘52排成一第一行l1(如图4所示)，第二导电接点55c为实质上平行于水平假想轴线a2地排成一紧邻第一行l1的第二行l2(如图5所示)，第二导电接点55d为实质上平行于水平假想轴线a2地排成一紧邻第二行l2的第三行l3(如图6所示)，第一至第三行l1～l3依序自第二主边缘52朝第一主边缘51的方向排列。如图2所示，各待测单元50a、50b的第一导电接点55a实质上平行于水平假想轴线a2地沿第一主边缘51排成一行，第一待测单元50a的第一导电接点55a中包含一邻近第一待测单元50a的第二侧边缘54的第一交界接点61，第二待测单元50b的第一导电接点55a中包含一邻近第二待测单元50b的第一侧边缘53的第二交界接点62。
[0052]
探针模块20的探针30a～30e区分为设置于第一探针座21的左半部的第一探针30a(如图2所示)、设置于第一探针座21的右半部的第二探针30b(如图2所示)，以及设置于第二探针座22的第三探针30c～30e(如图4至图6所示)，各第一探针30a分别用于点触第一待测单元50a的第一导电接点55a，各第二探针30b分别用于点触第二待测单元50b的第一导电接点55a，各第三探针30c～30e分别用于点触各第二导电接点55b～55d。
[0053]
如图2及图3所示，各第一探针30a以实质上对应第一待测单元50a的第一导电接点55a的排列方式排成一行而在第一探针座21形成一第一针层p1，各第二探针30b以实质上对应第二待测单元50b的第一导电接点55a的排列方式排成一行而在第一探针座21形成一高度低于第一针层p1的第二针层p2。如图3及图4所示，各第三探针30c以实质上对应各第二导电接点55b的排列方式排成一行而在第二探针座22形成一第三针层p3。如图3及图5所示，各第三探针30d以实质上对应各第二导电接点55c的排列方式排成一行而在第二探针座22形成一高度高于第三针层p3的第四针层p4。如图3及图6所示，各第三探针30e以实质上对应各第二导电接点55d的排列方式排成一行而在第二探针座22形成一高度高于第四针层p4的第五针层p5。
[0054]
换言之，各第三探针30c～30e排成三行(与第二导电接点55b～55d行数相同)，其顺序为由下而上地对应第二导电接点55b～55d的第一至第三行l1～l3的顺序，位置越高的针层的第三探针用于点触距离第二探针座22越远的导电接点，且位置越高的针层的第三探针的悬臂段越长。而各第一、二探针30a、30b在如图2所示的顶视图中看起来是排成一行，但实际上是如图3所示地在不同高度排成两行，惟此两行第一、二探针30a、30b延伸至排成同一行的第一导电接点55a，因此各第一、二探针30a、30b的点触段32末端与第一探针座21内
侧面211的垂直距离d实质上相同。
[0055]
当探针模块20检测各待测单元50a、50b时，各第一探针30a以其悬臂段31经过第一待测单元50a的第一主边缘51上方而分别延伸至第一待测单元50a的第一导电接点55a上方(如图2所示)进而以其点触段分别点触第一待测单元50a的第一导电接点55a，各第二探针30b以其悬臂段31经过第二待测单元50b的第一主边缘51上方而分别延伸至第二待测单元50b的第一导电接点55a上方(如图2所示)进而以其点触段分别点触第一待测单元50b的第一导电接点55a，各第三探针30c以其悬臂段31经过各待测单元50a、50b的第二主边缘52上方而延伸至各第二导电接点55b上方(如图4所示)进而以其点触段32点触各第二导电接点55b，各第三探针30d以其悬臂段31经过各待测单元50a、50b的第二主边缘52上方而延伸至各第二导电接点55c上方(如图5所示)进而以其点触段32点触各第二导电接点55c，各第三探针30e以其悬臂段31经过各待测单元50a、50b的第二主边缘52上方而延伸至各第二导电接点55d上方(如图6所示)进而以其点触段32点触各第二导电接点55d。
[0056]
在本实施例中，各探针30a～30e的外露部312自探针座21、22延伸而出的方向实质上对应其所属探针30a～30e将点触的导电接点55a～55d的延伸方向d2，此处所称“实质上对应”，指外露部312自探针座21、22延伸而出的方向不一定要与对应的导电接点55a～55d的延伸方向d2相同或相反，而是从上往下看时(即图2及图4～图6的方向)，外露部312概与其对应的导电接点55a～55d的延伸方向d2平行，如此可避免探针30a～30e的点触段32在进行点触时偏离至对应的导电接点55a～55d之外而产生点触不确实的问题。换言之，各探针30a～30e的外露部312的倾斜角度配置类同于各导电接点55a～55d的倾斜角度配置。
[0057]
详而言之，第二探针座22能定义出垂直于其内侧面221的一假想分界轴线l4，以及分别位于假想分界轴线l4的一第一侧(左侧)及一第二侧(右侧)的一第一假想分界线l5(与第一待测单元50a的假想分界轴线a1重合)及一第二假想分界线l6(与第二待测单元50b的假想分界轴线a1重合)，对于设置在第二探针座22的左半部的探针，其外露部312自内侧面221延伸而出的方向平行于第一假想分界线l5(例如对应图4所标示的中间区块57的探针)或远离第一假想分界线l5地相对于第一假想分界线l5呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的探针)；对于设置在第二探针座22的右半部的探针，其外露部312自内侧面221延伸而出的方向平行于第二假想分界线l6(例如对应图4所标示的中间区块57的探针)或远离第二假想分界线l6地相对于第二假想分界线l6呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的探针)。对于第一探针座21，第一针层p1能定义出一垂直于第一探针座21的内侧面211的第一假想分界线(与第二探针座22的第一假想分界线l5重合)，各第一探针30a的外露部312自内侧面211延伸而出的方向平行于第一假想分界线l5(例如对应图4所标示的中间区块57的探针)或朝第一假想分界线l5靠近地相对于第一假想分界线l5呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的探针)；第二针层p2能定义出一垂直于第一探针座21的内侧面211的第二假想分界线(与第二探针座22的第二假想分界线l6重合)，各第二探针30b的外露部312自内侧面211延伸而出的方向平行于第二假想分界线l6(例如对应图4所标示的中间区块57的探针)或朝第二假想分界线l6靠近地相对于第二假想分界线l6呈倾斜(例如对应图4所标示的左、右侧区块58、59的探针)。
[0058]
通过本发明的探针模块的探针配置，可在将如此繁多的探针以适当间距配置于探针座的前提下，仍可达到前述的确保探针点触确实的功效。此外，在本实施例中，各探针30a
～30e的固定部311的外侧区段311b为实质上相互平行，如此较方便于将探针配置于探针座；然而，通过本发明的探针模块的探针配置，也可便于将固定部311与外露部312实质上呈一直线的探针(例如图7所示的探针30a)配置于探针座，如此更可简化探针的弯折加工程序。
[0059]
更重要的是，如图2所示，虽然第一交界接点61的延伸方向d2朝第一待测单元50a的第二侧边缘54靠近地呈相当程度的倾斜，第二交界接点62的延伸方向d2也朝第二待测单元50b的第一侧边缘53靠近地呈相当程度的倾斜，但本发明的探针模块20是通过第一针层p1最右边的第一探针30a点触第一交界接点61，并通过第二针层p2最左边的第二探针30b点触第二交界接点62，而第一针层p1与第二针层p2位于不同高度，因此，即使用于点触第一、二交界接点61、62的第一、二探针30a、30b(分别定义为第一、二交界探针63、64)的外露部312自第一探针座21延伸而出的方向配合第一、二交界接点61、62的延伸方向d2，第一、二交界探针63、64因位于不同高度而可避免相互干涉。
[0060]
由图2可得知，若第一、二交界探针63、64设置于同一高度，其固定部311或甚至外露部312都会有彼此过于靠近的问题，甚至，在第一、二交界接点61、62的倾斜角度比本实施例所提供的更大的情况下，为了使第一、二交界探针63、64的外露部312的倾斜角度对应第一、二交界接点61、62的倾斜角度，第一交界探针63的固定部311需设置得更右边，而第二交界探针64的固定部311需设置得更左边，如此一来，第一、二交界探针63、64的固定部311或甚至外露部312都可能有相互干涉的问题，本发明的第一、二交界探针63、64因位于不同高度而可避免前述问题。可想而知，在第一待测单元50a的第一侧边缘53及第二待测单元50b的第二侧边缘54也与其他待测单元相邻的情况下(即有四个并排的待测单元)，最左边的第一探针30a及最右边的第二探针30b也可发挥前述的功效。
[0061]
在本实施例中，由于第一探针30a均与第二探针30b位于不同高度，因此，不论第一导电接点55a的倾斜角度多大，第一、二探针30a、30b的倾斜角度均可对应其点触的第一导电接点55a的倾斜角度，而不会产生干涉问题。然而，本发明的探针模块并不限于各第一探针30a都位于同一高度，也不限于各第二探针30b都位于同一高度，只要最右边的一或数个第一探针30a与最左边的一或数个第二探针30b位于不同高度，即可避免探针干涉问题，即，第一探针30a中可包含一或数个第一交界探针63，第二探针30b中可包含一或数个第二交界探针64，只要第一交界探针63与第二交界探针64位于不同高度(不同针层)即可避免相互干涉，其余的第一探针30a及第二探针30b的高度则无限制，例如，各第一探针30a及第二探针30b中可仅第一交界探针63位于较高的第一针层p1，其余的第一探针30a及第二探针30b均位于较低的第二针层p2，而第一、二交界探针63、64的数量则取决于邻近第一、二待测单元50a、50b的相邻侧边缘的第一导电接点55a的倾斜角度。详而言之，对于本实施例的第一、二待测单元50a、50b而言，各待测单元50a、50b的最靠近其相邻侧边缘的一个第一导电接点55a会使对应的同高度的探针有过于靠近的问题，因此第一、二交界接点61、62仅各有一个，第一、二交界探针63、64则对应地仅各有一个，只要此二探针位于不同高度即可避免探针干涉问题。在邻近待测单元50a、50b的相邻侧边缘的第一导电接点55a倾斜角度更大的情况下，第一、二交界接点61、62(也就是可能使同高度的探针过于靠近或干涉的导电接点)的数量则会设定得更多，第一、二交界探针63、64的数量也随之增加。
[0062]
请参阅图8及图9所示，本发明一第二较佳实施例所提供的探针模块20
’
用于同时
检测呈矩阵排列的第一至第四待测单元50a～d，其中，针对图8中左下及右下的第一、二待测单元50a、50b，探针模块20
’
采用如同第一较佳实施例的探针模块20的探针配置，为简化图式，图8中未显示此部分的探针。而对于图8中左上及右上的第三、四待测单元50c、50d，由于第三待测单元50c的第一主边缘51与第一待测单元50a的第二主边缘52相邻，第四待测单元50d的第一主边缘51与第二待测单元50b的第二主边缘52相邻，第三、四待测单元50c、50d的导电接点55a～55d全部都比第一、二待测单元50a、50b的第一导电接点55a更靠近第二探针座22，因此，第三、四待测单元50c、50d的导电接点55a～55d可全部都由设置于第二探针座22的第三探针30f～30i点触，即可在第二探针座22增设四行第三探针30f～30i，如图9所示，四行第三探针30f～30i位于用于点触第一、二待测单元50a、50b的第三探针30c～30e下方，且依由上而下的顺序分别用于以点触第三、四待测单元50c、50d的第一导电接点55a以及第二导电接点55b～55d的第三至第一行l3～l1。为了简化图式，图8中仅显示用于点触第三、四待测单元50c、50d的第一导电接点55a的第三探针30f。
[0063]
最后，必须再次说明，本发明在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其他等效元件的替代或变化，也应被本案的专利保护范围所涵盖。