一种提高探针卡上探针寿命的装置、保护机构和移动机构的制作方法

本实用新型涉及一种提高探针卡上探针寿命的装置、保护机构和移动机构，属于探针卡应用技术领域。

背景技术：

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32奈米以下挺进，目前产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等，上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。

探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡长时间的使用容易导致探针表面被污渍覆盖，不仅影响测试也容易降低探针卡探针的使用寿命，在进行测试时也不利于探针卡的固定，可能因探针卡发生偏移而导致探针磨损严重，降低使用时长。因此，针对上述问题提出一种提高探针卡上探针寿命的装置、保护机构和移动机构。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种提高探针卡上探针寿命的装置、保护机构和移动机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种提高探针卡上探针寿命的装置，包括位于基座顶部的操作台、保护机构和移动机构；

所述保护机构包括放置板和承载板，所述放置板与第一电动推杆固定连接，所述第一电动推杆与连接板固接，且连接板通过支腿与地面固定连接，所述连接板顶面一侧与第二电动推杆固定连接，所述第二电动推杆顶端与承载板固接，且承载板顶面固定连接有保护套；

所述移动机构包括固定板和螺杆，所述固定板与基座外壁固接，所述固定板顶面与电机固定连接，所述电机输出端与转轴固定连接，且转轴中部与齿轮固接，所述齿轮与齿板啮合连接，所述齿板侧壁固接有限位板，且齿板与操作台固定连接，所述操作台侧端与螺杆螺纹连接，所述操作台顶面开设有滑槽，且滑槽内部与限位块滑动连接，所述限位块通过弹簧与滑槽内壁固接，所述限位块接触有螺杆端部。

优选的，所述基座的数量为两个，两个基座顶端内部都开设有用于齿板以及限位板移动的凹槽，所述基座顶面与操作台滑动连接，两个基座之间设有放置板，所述放置板与基座之间滑动连接，且放置板底面分别设有四个均匀分布的第一电动推杆。

优选的，所述转轴与基座内部贯穿连接，所述转轴中部的齿轮与基座内部转动连接，且齿轮顶部的齿板长度大于操作台的长度。

优选的，所述操作台顶面开设有四个滑槽，每个滑槽内部都设有限位块，且每个限位块都接触有螺杆端部。

优选的，所述操作台顶面开设有用于探针卡放置的圆形槽，所述圆形槽与四个滑槽连通，所述操作台中部固接有用于探针卡支撑的支撑板，且支撑板中部开设有用于探针卡探针移动的圆孔。

优选的，所述连接板两侧分别与四个支腿固定连接，所述连接板顶面设有四个第二电动推杆，每个第二电动推杆顶端都与放置板贯穿连接，所述第二电动推杆顶部的承载板和保护套都呈圆形结构，且保护套与探针卡底部的探针插接。

一种提高探针卡上探针寿命的装置用保护机构，包括放置板和承载板，所述放置板与第一电动推杆固定连接，所述第一电动推杆与连接板固接，且连接板通过支腿与地面固定连接，所述连接板顶面一侧与第二电动推杆固定连接，所述第二电动推杆顶端与承载板固接，且承载板顶面固定连接有保护套；

一种提高探针卡上探针寿命的装置用移动机构，包括固定板和螺杆，所述固定板与基座外壁固接，所述固定板顶面与电机固定连接，所述电机输出端与转轴固定连接，且转轴中部与齿轮固接，所述齿轮与齿板啮合连接，所述齿板侧壁固接有限位板，且齿板与操作台固定连接，所述操作台侧端与螺杆螺纹连接，所述操作台顶面开设有滑槽，且滑槽内部与限位块滑动连接，所述限位块通过弹簧与滑槽内壁固接，所述限位块接触有螺杆端部。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过操作台的可移动设置能够实现晶圆测试时的放置，并在不使用时通过保护套的移动实现探针卡探针的密封保存，能够有效清除探针表面污渍，也避免灰尘等的附着，提高探针卡探针的使用寿命；

2、本实用新型通过限位块的移动能够实现探针卡的精确定位，方便探针卡的固定和使用，避免探针卡固定时发生偏移而导致探针卡探针发生过度磨损问题，有效延长探针卡探针的使用时长。

3、本实用新型提供了一种提高探针卡上探针寿命的装置用保护机构。

4、本实用新型提供了一种提高探针卡上探针寿命的装置用移动机构。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型侧视结构示意图；

图3为本实用新型俯视结构示意图。

图中：1、基座，2、操作台，3、放置板，4、支腿，5、连接板，501、第一电动推杆，6、第二电动推杆，7、承载板，8、保护套，9、固定板，10、电机，11、转轴，12、齿轮，13、齿板，14、限位板，15、螺杆，16、滑槽，17、限位块，18、弹簧，19、支撑板，20、探针卡。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例一

以下实施例是本申请提高探针卡上探针寿命的装置的实施例。

请参阅图1-3所示，一种提高探针卡上探针寿命的装置，包括位于基座1顶部的操作台2、保护机构和移动机构；

所述保护机构包括放置板3和承载板7，所述放置板3与第一电动推杆501固定连接，所述第一电动推杆501与连接板5固接，且连接板5通过支腿4与地面固定连接，所述连接板5顶面一侧与第二电动推杆6固定连接，所述第二电动推杆6顶端与承载板7固接，且承载板7顶面固定连接有保护套8；

所述移动机构包括固定板9和螺杆15，所述固定板9与基座1外壁固接，所述固定板9顶面与电机10固定连接，所述电机10输出端与转轴11固定连接，且转轴11中部与齿轮12固接，所述齿轮12与齿板13啮合连接，所述齿板13侧壁固接有限位板14，且齿板13与操作台2固定连接，所述操作台2侧端与螺杆15螺纹连接，所述操作台2顶面开设有滑槽16，且滑槽16内部与限位块17滑动连接，所述限位块17通过弹簧18与滑槽16内壁固接，所述限位块17接触有螺杆15端部。

所述基座1的数量为两个，两个基座1顶端内部都开设有用于齿板13以及限位板14移动的凹槽，所述基座1顶面与操作台2滑动连接，两个基座1之间设有放置板3，所述放置板3与基座1之间滑动连接，且放置板3底面分别设有四个均匀分布的第一电动推杆501；所述转轴11与基座1内部贯穿连接，所述转轴11中部的齿轮12与基座1内部转动连接，且齿轮12顶部的齿板13长度大于操作台2的长度；所述操作台2顶面开设有四个滑槽16，每个滑槽16内部都设有限位块17，且每个限位块17都接触有螺杆15端部；所述操作台2顶面开设有用于探针卡20放置的圆形槽，所述圆形槽与四个滑槽16连通，所述操作台2中部固接有用于探针卡20支撑的支撑板19，且支撑板19中部开设有用于探针卡20探针移动的圆孔；所述连接板5两侧分别与四个支腿4固定连接，所述连接板5顶面设有四个第二电动推杆6，每个第二电动推杆6顶端都与放置板3贯穿连接，所述第二电动推杆6顶部的承载板7和保护套8都呈圆形结构，且保护套8与探针卡20底部的探针插接。

本实用新型在使用时，首先将该装置内的电器元件外接电源和控制开关，将探针卡20放置在操作台2中部的支撑板19上，使探针卡20嵌合在操作台2内，并使探针卡20的探针伸出支撑板19底部，通过转动转动螺杆15，使螺杆15在操作台2侧端转动后横向移动，进而抵住限位块17并推动限位块17在滑槽16内部移动，使限位块17抵住探针卡20边缘，实现探针卡20的固定，有利于探针卡20的定位，避免测试时发生偏移问题，将芯片固定在操作台2上，通过连接板5上的第一电动推杆501的伸长带动左侧的放置板3竖向移动，使放置板3带动芯片移动后与探针卡20的探针接触；

当测试完成后，通过第一电动推杆501的缩短带动探针与芯片分离，再通过固定板9上的电机10带动转轴11转动，转轴11带动齿轮12在基座1内部转动时带动齿板13横向移动，使齿板13在基座1内部滑动后带动齿板13顶部的操作台2向一侧移动，当移动完成后，通过第二电动推杆6的伸长带动承载板7竖向移动，进而带动承载板7顶面的保护套8接触探针卡20底部的探针，通过橡胶制成的保护套8对探针卡20的探针进行保护，避免探针卡20表面灰尘的附着，提高使用寿命。

具体实施例二

以下实施例是本申请提高探针卡上探针寿命的装置用保护机构的实施例。

一种提高探针卡上探针寿命的装置用保护机构，包括放置板3和承载板7，所述放置板3与第一电动推杆501固定连接，所述第一电动推杆501与连接板5固接，且连接板5通过支腿4与地面固定连接，所述连接板5顶面一侧与第二电动推杆6固定连接，所述第二电动推杆6顶端与承载板7固接，且承载板7顶面固定连接有保护套8。

具体实施例三

以下实施例是本申请提高探针卡上探针寿命的装置用移动机构的实施例。

一种提高探针卡上探针寿命的装置用移动机构，包括固定板9和螺杆15，所述固定板9与基座1外壁固接，所述固定板9顶面与电机10固定连接，所述电机10输出端与转轴11固定连接，且转轴11中部与齿轮12固接，所述齿轮12与齿板13啮合连接，所述齿板13侧壁固接有限位板14，且齿板13与操作台2固定连接，所述操作台2侧端与螺杆15螺纹连接，所述操作台2顶面开设有滑槽16，且滑槽16内部与限位块17滑动连接，所述限位块17通过弹簧18与滑槽16内壁固接，所述限位块17接触有螺杆15端部。

涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。