一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具及关键结构的制作方法

本实用新型涉及一种固定治具，具体是一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具，属于探针卡应用技术领域。

背景技术：

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在ic尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是ic制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡是用于芯片封装前进行测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行舍弃的一种测试工具，探针卡进行晶圆测试时，需要对探针卡进行固定再进行与芯片之间的连接测试，通常探针卡固定后不易取下，在进行更换探针卡时增加了操作的不便，且在进行不同型号的探针卡固定时，可能导致固定设备无法有效固定，造成固定设备的实用性降低。因此，针对上述问题提出一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具，位于底盘顶部的限位块、调节机构和限位机构；

所述调节机构包括滑块、齿轮圈和限位板，所述滑块与限位块固定连接，所述限位块与滑槽内部滑动连接，所述滑块顶面与齿轮圈螺纹连接，且齿轮圈与限位板内部转动连接，所述齿轮圈侧表面与调节齿轮啮合连接，所述调节齿轮与转轴固定连接，且转轴顶端固接有手柄；

所述限位机构包括固定板、压杆和固定块，所述固定板与滑块侧端固定连接，所述固定板通过弹簧与压杆固定连接，所述固定块与限位块侧壁固定连接，所述固定块之间与活动板滑动连接，所述活动板顶部与螺杆螺纹连接，且螺杆底端与固定轴固定连接。

优选的，所述底盘顶面四周开设有四个均匀分布的滑槽，每个滑槽内部都与l形结构的限位块滑动连接，且每个限位块侧壁的滑块都与底盘顶面滑动连接。

优选的，所述限位板的数量为四个，四个限位板内部都与齿轮圈转动连接，所述齿轮圈底面开设有与滑块螺纹连接的螺纹槽，且与齿轮圈啮合的调节齿轮通过转轴与底盘转动连接。

优选的，所述固定板和压杆都位于滑块同侧，所述压杆呈弯折状结构，所述压杆与滑块侧壁转动连接，且压杆顶端接触有探针卡边缘。

优选的，所述活动板呈u形结构，所述活动板位于两个固定块之间，且活动板与限位块两侧滑动连接。

优选的，所述螺杆与活动板贯穿连接，所述活动板底端接触有压杆顶端，且螺杆底端的固定轴与限位块内部转动连接。

一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具关键结构，所述关键结构为调节机构，包括包括滑块、齿轮圈和限位板，所述滑块与限位块固定连接，所述限位块与滑槽内部滑动连接，所述滑块顶面与齿轮圈螺纹连接，且齿轮圈与限位板内部转动连接，所述齿轮圈侧表面与调节齿轮啮合连接，所述调节齿轮与转轴固定连接，且转轴顶端固接有手柄。

一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具关键结构，所述关键结构为限位机构，包括固定板、压杆和固定块，所述固定板与滑块侧端固定连接，所述固定板通过弹簧与压杆固定连接，所述固定块与限位块侧壁固定连接，所述固定块之间与活动板滑动连接，所述活动板顶部与螺杆螺纹连接，且螺杆底端与固定轴固定连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型结构简单，操作方便，通过限位块的设置能够对探针卡进行有效固定，并能对探针卡进行有效定位，避免探针卡固定时发生偏差问题，能够对不同型号的探针卡进行固定，提高固定治具的实用性；

2、本实用新型通过限位块的限位以及压杆的固定能够提高探针卡固定时的稳定性，在进行更换时也方便进行探针卡的取下，增加操作的便利性，既方便探针卡的固定也能够降低探针卡拆装时的难度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型无探针卡时正视结构示意图；

图3为本实用新型俯视结构示意图。

图中：1、底盘，2、限位块，3、滑槽，4、滑块，5、齿轮圈，6、限位板，7、调节齿轮，8、转轴，9、手柄，10、固定板，11、弹簧，12、压杆，13、固定块，14、活动板，15、螺杆，16、固定轴。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例一

本实施例为晶圆测试用可更换的探针卡固定治具的实施例。

请参阅图1-3所示，一种晶圆测试用可更换的探针卡固定治具，位于底盘1顶部的限位块2、调节机构和限位机构；

所述调节机构包括滑块4、齿轮圈5和限位板6，所述滑块4与限位块2固定连接，所述限位块2与滑槽3内部滑动连接，所述滑块4顶面与齿轮圈5螺纹连接，且齿轮圈5与限位板6内部转动连接，所述齿轮圈5侧表面与调节齿轮7啮合连接，所述调节齿轮7与转轴8固定连接，且转轴8顶端固接有手柄9；

所述限位机构包括固定板10、压杆12和固定块13，所述固定板10与滑块4侧端固定连接，所述固定板10通过弹簧11与压杆12固定连接，所述固定块13与限位块2侧壁固定连接，所述固定块13之间与活动板14滑动连接，所述活动板14顶部与螺杆15螺纹连接，且螺杆15底端与固定轴16固定连接。

所述底盘1顶面四周开设有四个均匀分布的滑槽3，每个滑槽3内部都与l形结构的限位块2滑动连接，且每个限位块2侧壁的滑块4都与底盘1顶面滑动连接；所述限位板6的数量为四个，四个限位板6内部都与齿轮圈5转动连接，所述齿轮圈5底面开设有与滑块4螺纹连接的螺纹槽，且与齿轮圈5啮合的调节齿轮7通过转轴8与底盘1转动连接；所述固定板10和压杆12都位于滑块4同侧，所述压杆12呈弯折状结构，所述压杆12与滑块4侧壁转动连接，且压杆12顶端接触有探针卡边缘；所述活动板14呈u形结构，所述活动板14位于两个固定块13之间，且活动板14与限位块2两侧滑动连接；所述螺杆15与活动板14贯穿连接，所述活动板14底端接触有压杆12顶端，且螺杆15底端的固定轴16与限位块2内部转动连接。

本实用新型在使用时，将探针卡置于底盘1上，通过转动手柄9，使手柄9带动转轴8在底盘1上转动时，带动调节齿轮7转动，调节齿轮7带动齿轮圈5同时转动，使齿轮圈5在限位板6内部转动时，因齿轮圈5的底面与滑块4顶面的螺纹槽相互啮合连接，使齿轮圈5转动时带动滑块4在滑槽3内部滑动，四个滑块4能够同时向底盘1中心移动，使滑块4移动时抵住探针卡边缘，进而将探针卡固定在底盘1中心，既能实现探针卡的固定也能实现探针卡的精确定位；

当操作完成后，通过拧紧螺杆15，使螺杆15带动固定轴16在限位块2顶端内部转动，固定轴16实现螺杆15竖直位置上的限位，螺杆15转动时带动活动板14进行竖向移动，活动板14两侧受四个固定块13限位，使活动板14在限位板6两侧向下移动，进而使活动板14底端抵住压杆12，并推动压杆12围绕其与滑块4连接处转动，使弹簧11压缩后，压杆12压在探针卡的顶面边缘位置，实现探针卡的进一步固定，避免测试晶圆时发生探针卡偏移的问题，当需要更换时，只需拧开螺杆15，使活动板14和压杆12分离后，压杆12与探针卡分离，再反向转动手柄9，使限位块2不再对探针卡进行固定，即可实现探针卡的取出，方便探针卡的更换以及固定。

具体实施例二

本实施例为晶圆测试用可更换的探针卡固定治具调节机构的实施例。

所述调节机构包括滑块4、齿轮圈5和限位板6，所述滑块4与限位块2固定连接，所述限位块2与滑槽3内部滑动连接，所述滑块4顶面与齿轮圈5螺纹连接，且齿轮圈5与限位板6内部转动连接，所述齿轮圈5侧表面与调节齿轮7啮合连接，所述调节齿轮7与转轴8固定连接，且转轴8顶端固接有手柄9。

具体实施例三

本实施例为晶圆测试用可更换的探针卡固定治具限位机构的实施例。

所述限位机构包括固定板10、压杆12和固定块13，所述固定板10与滑块4侧端固定连接，所述固定板10通过弹簧11与压杆12固定连接，所述固定块13与限位块2侧壁固定连接，所述固定块13之间与活动板14滑动连接，所述活动板14顶部与螺杆15螺纹连接，且螺杆15底端与固定轴16固定连接。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。