一种悬臂式高频探针卡的制作方法

本实用新型涉及一种探针卡，具体是一种悬臂式高频探针卡。

背景技术：

悬臂式探针卡主要是由相互电性连接的探针与刚性的多层印刷电路板所构成，且探针用以点触待测电子对象的待测部位，多层印刷电路板则与检测机的讯号端子接触，而多层印刷电路板上为方便电路布局与设计，其上通常设置有许多贯孔，但随着数字科技的进步，待测电子对象的指令周期与每秒的讯号传输量日益增大，贯孔于高频时将产生贯孔效应造成整体的电感量提升，而测试讯号频率越高，其电感的阻抗值则会因高频的讯号通过而提高，造成高频的测试讯号无法顺利通过，而容易有测试误判的情形产生。

但是，现有的高频探针不便于对待检测件进行限位，且单次测量随机性较大，误差较高。因此，本实用新型提供了一种悬臂式高频探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种悬臂式高频探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种悬臂式高频探针卡，包括底盘机构和探测机构；

所述底盘机构包括圆盘座和针座，圆盘座为环状结构，且圆盘座的中部开设有盘孔，盘孔的周侧开设有盘槽，圆盘座的上端固定针座，针座为环状的结构，且针座的内侧安装有探测机构；

所述探测机构包括探针和电感性组件，探针两个为一组，且探针设置有若干组，探针为环形排列，探针包括针臂和针头，探针的针头向内，每组所述探针的内端连接有电容，通过电容电性连接电传输件，通过电传输件电性连接有电感性组件。

作为本实用新型进一步的方案：所述电感性组件的一个接线端电性连接电传输件，电感性组件通过电传输件电性连接每组所述探针，电感性组件的另一个接线端电性连接检测器，检测器的下端设置有检测头。

作为本实用新型再进一步的方案：所述探针的材质导电材料。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电感性组件安装在针座的上端，且每组所述电感性组件等间距设置有四组，且每组所述电感性组件的电感性不同。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电传输件包含复数讯号传输电路，复数讯号传输电路电性连接探针与电容。

一种悬臂式高频探针卡及关键机构，所述关键结构为为底盘机构，包括圆盘座和针座，圆盘座为环状结构，且圆盘座的中部开设有盘孔，盘孔的周侧开设有盘槽，圆盘座的上端固定针座，针座为环状的结构，且针座的内侧安装有探测机构。

一种悬臂式高频探针卡及关键机构，所述关键结构为探测机构，包括探针和电感性组件，探针两个为一组，且探针设置有若干组，探针为环形排列，探针包括针臂和针头，探针的针头向内，每组所述探针的内端连接有电容，通过电容电性连接电传输件，通过电传输件电性连接有电感性组件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型具有环状的圆盘座，且圆盘座的下端开设有盘槽，盘槽可以起到对待检测件的限位作用。

2、本实用新型设置有多组不同电感性的电感性组件，可以测试出多组不同的数据，实现多组的测量，从而降低数据的随机性，从而降低数据的误差。

附图说明

图1为一种悬臂式高频探针卡的结构示意图。

图2为一种悬臂式高频探针卡的结构示意图。

图3为一种悬臂式高频探针卡中圆盘座的结构示意图。

图中：1、圆盘座；101、盘孔；102、盘槽；2、电传输件；3、检测头；4、检测器；5、电感性组件；6、针座；7、探针；8、针臂；9、电容。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

具体实施例一

本实施例为一种悬臂式高频探针卡的实施例。

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种悬臂式高频探针卡，包括底盘机构和探测机构；所述底盘机构包括圆盘座1和针座6，圆盘座1为环状结构，且圆盘座1的中部开设有盘孔101，盘孔101的周侧开设有盘槽102，圆盘座1的上端固定针座6，针座6为环状的结构，且针座6的内侧安装有探测机构；所述探测机构包括探针7和电感性组件5，探针7两个为一组，且探针7设置有若干组，多组所述探针7为环形排列，探针7包括针臂8和针头，探针7的针头向内，每组所述探针7的内端连接有电容9，通过电容9电性连接电传输件2，通过电传输件2电性连接有电感性组件5。

所述电感性组件5的一个接线端电性连接电传输件2，电感性组件5通过电传输件2电性连接每组所述探针7，电感性组件5的另一个接线端电性连接检测器4，检测器4的下端设置有检测头3，所述探针7的材质导电材料，所述电感性组件5安装在针座6的上端，且每组所述电感性组件5等间距设置有四组，且每组所述电感性组件5的电感性不同，所述电传输件2包含复数讯号传输电路，复数讯号传输电路电性连接探针7与电容9。

本实用新型在使用时，将待测的元件放置在盘槽102，盘槽102起到一定的对待测元件的限位作用，再有本实用新型设置有四组电感性组件5，且每组所述电感性组件5的电感性均不同，通过检测器4分别从四组电感性组件5处测试，获得不同的检测信号，从而通过数据获取更加准确的数据，降低数据的随机性，从而降低误差。

具体实施例二

本实施例为一种悬臂式高频探针卡用底盘机构的实施例。

所述关键结构为底盘机构，包括圆盘座1和针座6，圆盘座1为环状结构，且圆盘座1的中部开设有盘孔101，盘孔101的周侧开设有盘槽102，圆盘座1的上端固定针座6，针座6为环状的结构，且针座6的内侧安装有探测机构。

具体实施例三

本实施例为一种悬臂式高频探针卡用探测机构的实施例。

所述关键结构为探测机构，包括探针7和电感性组件5，探针7两个为一组，且探针7设置有若干组，探针7为环形排列，探针7包括针臂8和针头，探针7的针头向内，每组所述探针7的内端连接有电容9，通过电容9电性连接电传输件2，通过电传输件2电性连接有电感性组件5。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种悬臂式高频探针卡，其特征在于，包括底盘机构和探测机构；

所述底盘机构包括圆盘座（1）和针座（6），圆盘座（1）为环状结构，且圆盘座（1）的中部开设有盘孔（101），盘孔（101）的周侧开设有盘槽（102），圆盘座（1）的上端固定针座（6），针座（6）为环状的结构，且针座（6）的内侧安装有探测机构；

所述探测机构包括探针（7）和电感性组件（5），探针（7）两个为一组，且探针（7）设置有若干组，多组所述探针（7）为环形排列，探针（7）包括针臂（8）和针头，探针（7）的针头向内，每组所述探针（7）的内端连接有电容（9），通过电容（9）电性连接电传输件（2），通过电传输件（2）电性连接有电感性组件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂式高频探针卡，其特征在于，所述电感性组件（5）的一个接线端电性连接电传输件（2），电感性组件（5）通过电传输件（2）电性连接每组所述探针（7），电感性组件（5）的另一个接线端电性连接检测器（4），检测器（4）的下端设置有检测头（3）。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂式高频探针卡，其特征在于，所述探针（7）的材质导电材料。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂式高频探针卡，其特征在于，所述电感性组件（5）安装在针座（6）的上端，且每组所述电感性组件（5）等间距设置有四组，且每组所述电感性组件（5）的电感性不同。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂式高频探针卡，其特征在于，所述电传输件（2）包含复数讯号传输电路，复数讯号传输电路电性连接探针（7）与电容（9）。

技术总结
本实用新型公开了一种悬臂式高频探针卡，包括底盘机构和探测机构；所述底盘机构包括圆盘座和针座，圆盘座为环状结构，且圆盘座的中部开设有盘孔，盘孔的周侧开设有盘槽，圆盘座的上端固定针座，针座为环状的结构，且针座的内侧安装有探测机构；所述探测机构包括探针和电感性组件，探针两个为一组，且探针设置有若干组，探针为环形排列，探针包括针臂和针头，探针的针头向内，每组所述探针的内端连接有电容，通过电容电性连接电传输件，通过电传输件电性连接有电感性组件,本实用新型具有环状的圆盘座，且圆盘座的下端开设有盘槽，盘槽可以起到对待检测件的限位作用。

技术研发人员：赵梁玉;于海超;周明
受保护的技术使用者：强一半导体(苏州)有限公司
技术研发日：2020.04.22
技术公布日：2020.12.01