一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装的制作方法

本实用新型涉及质量检测技术领域，具体为一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装。

背景技术：

砷化镓是一种重要半导体材料，属于闪锌矿型晶格结构，晶格常数5.65*10-10m，熔点1237℃，禁带宽度1.4电子伏，砷化镓与1964年进入实用阶段，砷化镓可以制成电阻率比硅和锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，用来制作集成电路衬底、红外探测器和γ光子探测器等。

砷化镓抛光加工时需对抛光完成后的抛光片样品厚度进行测量以确保质量的合格，由于砷化镓抛光片样品的厚度较为偏薄，现有的测量装置在使用时测量的读数不方便观测且存在较大的误差，故而提出一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装解决上述所提出的问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装，具备方便读数，误差较小等优点，解决了读数不方便观测且存在较大误差的问题。

(二)技术方案

为实现上述方便读数，误差较小目的，本实用新型提供如下技术方案：一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装，包括测量箱，所述测量箱内壁顶部固定安装有滑轨，所述滑轨底部滑动连接有齿条板，所述测量箱内壁前后两侧之间固定安装有固定杆，所述固定杆外侧活动连接有与齿条板底部啮合的第一齿轮，所述测量箱内壁后侧固定安装有位于固定杆下方的固定轴，所述固定轴前侧活动连接有与第一齿轮啮合的第二齿轮，所述第二齿轮前侧固定连接有一端延伸至测量箱前侧的转动轴，所述测量箱前侧固定安装有刻度盘，所述刻度盘前侧刻置有刻度，所述转动轴外侧固定安装有与刻度盘前侧贴合的指针，所述测量箱左侧顶部和底部均固定连接有固定块，底部所述固定块顶部固定安装有安装块，所述安装块顶部固定安装有u型块，所述u型块内壁左右两侧之间固定安装有活动轴，所述活动轴外侧活动连接有固定轮，顶部所述固定块底部活动连接有一端延伸至其顶部的活动块，所述活动块底部固定连接有测量组件，所述测量组件顶部固定连接有套接在活动块外侧且一端与顶部固定块的底部固定连接的复位弹簧，所述测量组件顶部右侧固定安装有一端延伸至顶部固定块顶部的限位杆，所述限位杆右侧固定安装有连接块，所述连接块右侧活动连接有一端与齿条板左侧活动连接的转换杆。

优选的，所述测量组件包括安装板、支架、滚动轴和活动轮，所述活动块、复位弹簧和限位杆底部均固定安装在安装板顶部，所述安装板底部固定安装有支架，所述支架内壁左右两侧固定安装有滚动轴，所述滚动轴外侧活动连接有一侧与固定轮顶部贴合的活动轮。

优选的，所述活动块顶部固定安装有防脱板，指针远离转动轴一端到转动轴的距离大于刻度到转动轴的距离。

优选的，所述固定轮的宽度大于活动轮的宽度，第一齿轮的直径大于第二齿轮的直径。

优选的，所述测量箱内部为中空，其内壁左侧开设有开口，开口长度与两个固定块相对一侧的距离相等。

优选的，所述齿条板的水平高度与连接块的水平高度差大于复位弹簧的压缩范围。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装，具备以下有益效果：

该砷化镓抛光片样品厚度测量工装，通过转换杆，由于转换杆右端与齿条板活动连接且长度无法改变，工作人员对样品测量时，将样品水平放置从前至后由固定轮与活动轮之间接触点滑入，固定轮与活动轮发生滚动且活动轮受到样品的挤压从而向上移动推动测量组件整体上移，固定在测量组件上面的限位杆上移带动连接块上移从而使转换杆左端上移，导致转换杆右端右移使齿条板向右移动从而使第一条轮顺时针转动带动第二齿轮逆时针转动，由于第一齿轮的直径大于第二齿轮的直径，第二齿轮转动使转动轴转动带动指针偏转，即可将抛光片的厚度测量值进行放大，方便了使用者使用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型剖视图；

图3为本实用新型侧视图；

图4为本实用新型测量组件局部示意图。

图中：1测量箱、2滑轨、3齿条板、4固定杆、5第一齿轮、6固定轴、7第二齿轮、8转动轴、9刻度盘、10指针、11刻度、12固定块、13安装块、14u型块、15活动轴、16固定轮、17活动块、18测量组件、181安装板、182支架、183滚动轴、184活动轮、19复位弹簧、20限位杆、21连接块、22转换杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种砷化镓抛光片样品厚度测量工装，包括测量箱1，测量箱1内壁顶部固定安装有滑轨2，滑轨2底部滑动连接有齿条板3，测量箱1内壁前后两侧之间固定安装有固定杆4，固定杆4外侧活动连接有与齿条板3底部啮合的第一齿轮5，测量箱1内壁后侧固定安装有位于固定杆4下方的固定轴6，固定轴6前侧活动连接有与第一齿轮5啮合的第二齿轮7，一齿轮5的直径大于第二齿轮7的直径，第二齿轮7前侧固定连接有一端延伸至测量箱1前侧的转动轴8，测量箱1前侧固定安装有刻度盘9，刻度盘9前侧刻置有刻度11，转动轴8外侧固定安装有与刻度盘9前侧贴合的指针10，指针10远离转动轴8一端到转动轴8的距离大于刻度11到转动轴8的距离，测量箱1左侧顶部和底部均固定连接有固定块12，测量箱1内部为中空，其内壁左侧开设有开口，开口长度与两个固定块12相对一侧的距离相等，底部固定块12顶部固定安装有安装块13，安装块13顶部固定安装有u型块14，u型块14内壁左右两侧之间固定安装有活动轴15，活动轴15外侧活动连接有固定轮16，顶部固定块12底部活动连接有一端延伸至其顶部的活动块17，活动块17顶部固定安装有防脱板，活动块17底部固定连接有测量组件18，测量组件18顶部固定连接有套接在活动块17外侧且一端与顶部固定块12的底部固定连接的复位弹簧19，测量组件18顶部右侧固定安装有一端延伸至顶部固定块12顶部的限位杆20，测量组件18包括安装板181、支架182、滚动轴183和活动轮184，活动块17、复位弹簧19和限位杆20底部均固定安装在安装板181顶部，安装板181底部固定安装有支架182，支架182内壁左右两侧固定安装有滚动轴183，滚动轴183外侧活动连接有一侧与固定轮16顶部贴合的活动轮184，固定轮16的宽度大于活动轮184的宽度，限位杆20右侧固定安装有连接块21，连接块21右侧活动连接有一端与齿条板3左侧活动连接的转换杆22，齿条板3的水平高度与连接块21的水平高度差大于复位弹簧19的压缩范围，通过转换杆22，由于转换杆22右端与齿条板3活动连接且长度无法改变，工作人员对样品测量时，将样品水平放置从前至后由固定轮16与活动轮184之间接触点滑入，固定轮16与活动轮184发生滚动且活动轮184受到样品的挤压从而向上移动推动测量组件18整体上移，固定在测量组件18上面的限位杆20上移带动连接块21上移从而使转换杆22左端上移，导致转换杆22右端右移使齿条板3向右移动从而使第一条轮5顺时针转动带动第二齿轮7逆时针转动，由于第一齿轮5的直径大于第二齿轮7的直径，第二齿轮7转动使转动轴8转动带动指针偏转，即可将抛光片的厚度测量值进行放大，方便了使用者使用。

在使用时，将样品水平放置从前至后由固定轮16与活动轮184之间接触点滑入即可对样品厚度进行测量，当测量完成后，工作人员将砷化镓抛光片样品从活动轮184与固定轮16之间抽出，复位弹簧19对安装板181产生弹力使活动轮184向下移动从而使测量组件达到复位，方便了工作人员进行下一次测量。

综上所述，该砷化镓抛光片样品厚度测量工装，通过转换杆22，由于转换杆22右端与齿条板3活动连接且长度无法改变，工作人员对样品测量时，将样品水平放置从前至后由固定轮16与活动轮184之间接触点滑入，固定轮16与活动轮184发生滚动且活动轮184受到样品的挤压从而向上移动推动测量组件18整体上移，固定在测量组件18上面的限位杆20上移带动连接块21上移从而使转换杆22左端上移，导致转换杆22右端右移使齿条板3向右移动从而使第一条轮5顺时针转动带动第二齿轮7逆时针转动，由于第一齿轮5的直径大于第二齿轮7的直径，第二齿轮7转动使转动轴8转动带动指针偏转，即可将抛光片的厚度测量值进行放大，方便了使用者使用，解决了现有的测量装置在使用时测量的读数不方便观测且存在较大的误差。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。