一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法和装置与流程

文档序号:26097910发布日期:2021-07-30 18:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法,其特征在于,包括以下步骤:

-将格栅图像的光线穿过待测玻璃基板,若光线发生偏折,捕获得到的畸变格栅图;

-将畸变格栅图与基准格栅图进行叠加运算,形成虚拟摩尔干涉条纹,计算虚拟摩尔干涉条纹的屈光度;所述基准格栅图由格栅图像的光线穿过无亮暗线条纹的玻璃基板得到;

-对屈光度绝对值大于或等于阈值的信号进行滤波和增强处理,并按照正屈光度为亮线以及负屈光度为暗线进行划分,实现待测玻璃基板的亮暗线条纹在线测量;

-根据屈光度将亮暗线条纹缺陷划分成不同严重程度等级,将测量得到的亮暗线条纹对照划分出的严重程度等级进行风险预警或不良管控,实现玻璃基板条纹缺陷的在线检测。

2.根据权利要求1所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法,其特征在于:所述的屈光度绝对值的阈值为10mdpt。

3.根据权利要求1所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法,其特征在于,所述将畸变格栅图与基准格栅图进行叠加运算,形成虚拟摩尔干涉条纹具体操作为:

固定2800khz以上频率方波信号的激励下,虚拟成实物光栅尺电信号,驱动led灯珠发射不同灰阶的基准格栅图像光信号;

动态140khz以上频率切换方波信号的激励下,驱动led灯珠发射动态交变的基准格栅图像光信号;

140khz以上频率扫描感光,将动态交变的基准格栅图像光信号转换成电信号;

将激励方波信号与感光检测到的电信号进行电流叠加处理,实现动态摩尔条纹信号检测;

将畸变格栅图与基准格栅图的摩尔条纹信号进行叠加,形成虚拟摩尔干涉条纹。

4.根据权利要求1所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法,其特征在于,所述根据屈光度将亮暗线条纹缺陷划分成不同严重程度等级具体包括:在线检测亮暗线屈光度与离线测光目视亮暗线质量管理等级进行关联比较,根据经验值得到屈光度与亮暗线条纹质量等级关系曲线,对照曲线按屈光度确定亮暗线条纹缺陷的严重程度等级。

5.一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:包括光源(3)、感光元件(2)及限位块(5);限位块(5)为条形且沿玻璃基板流向加工有限位凹槽,玻璃基板由限位凹槽经过;光源(3)与感光元件(2)相对设置在限位块(5)的两侧;光源(3)按照需要检测的区域由若干个灯珠排列组成,光源(3)在方波信号的激励下生成格栅图像的光线(4);光线(4)由玻璃基板穿过经透镜(2-1)被感光元件(2)接收;感光元件(2)连接处理器,处理器能够对畸变格栅图与基准格栅图进行叠加运算,形成虚拟摩尔干涉条纹,通过图像采集卡设定屈光度绝对值的阈值,对大于或等于阈值的信号进行滤波和增强处理。

6.根据权利要求5所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:所述的光源(3)采用模块化设计,按照不同的检测宽度进行设置,每个模块的宽度及长度不小于280mm,单个模块有64个led灯珠,亮度能够达到10万lux以上。

7.根据权利要求5所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:所述的方波信号由方波信号驱动器激励产生,方波信号的扫描频率为2800khz;

所述格栅图像的光线(4)节距≤60um。

8.根据权利要求5所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:所述的感光元件(2)选用8k以上黑白线阵ccd相机,像素大小≥20um,行扫描频率≥140khz,所述的感光元件(2)及透镜(2-1)的焦距在60mm以上。

9.根据权利要求5所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:所述的图像采集卡集成在感光元件(2)当中,图像采集卡的接口选用ieee1394或usb2.0,像素为黑白256级灰度,分辨率为2048*1536,采样频率在65mhz以上。

10.根据权利要求5所述超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测装置,其特征在于:所述的处理器选用2xcpuamdepyc7281或32cores,avx512型号处理器。


技术总结
一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法和装置,将格栅图像的光线穿过待测玻璃基板,若光线发生偏折,捕获得到的畸变格栅图;将畸变格栅图与基准格栅图进行叠加运算,形成虚拟摩尔干涉条纹,计算虚拟摩尔干涉条纹的屈光度;基准格栅图由格栅图像的光线穿过无亮暗线条纹的玻璃基板得到;对屈光度绝对值大于或等于阈值的信号进行滤波和增强处理,并按照正屈光度为亮线以及负屈光度为暗线进行划分,实现待测玻璃基板的亮暗线条纹在线测量;根据屈光度将亮暗线条纹缺陷划分成不同严重程度等级,将测量得到的亮暗线条纹对照划分出的严重程度等级进行风险预警或不良管控。本发明能够保证玻璃基板亮暗线条纹缺陷实时在线检测的准确性。

技术研发人员:李淼;杨国洪;王答成;焦宗平
受保护的技术使用者:彩虹显示器件股份有限公司
技术研发日:2021.03.31
技术公布日:2021.07.30
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