技术特征：
1.一种基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，包括gsg针尖(1)、gsg-微同轴线转换结构(2)、矩形微同轴线(3)和微同轴线-wr-10矩形波导转换结构(4)，矩形微同轴线(3)包括外导体、内导体和支撑结构，内导体设置在外导体中，gsg针尖(1)的内导体厚度大于外导体厚度，矩形微同轴线(3)沿外导体中心线设置在外导体内，gsg-微同轴线转换结构(2)用于过渡连接矩形微同轴线(3)和gsg针尖(1)，矩形微同轴线(3)的后端接微同轴线-wr-10矩形波导转换结构(4)，微同轴线-wr-10矩形波导转换结构(4)处设置矩形波导接口，支撑结构沿着矩形微同轴线(3)长度方向间隔设置为内导体提供支撑，gsg针尖的内导体上横向插入介质支撑结构，gsg-微同轴线转换结构(2)用于将tem模转化为共面波导tem模式，微同轴线-wr-10矩形波导转换结构用于实现tem模和te10模的转换。2.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，gsg针尖(1)的内导体厚度大于外导体厚度20μm或50μm。3.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，支撑结构横向穿过内导体，并固定在外导体中。4.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，支撑结构的材质为su-8，厚度为0.02mm，周期为0.7mm。5.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，外导体绝缘区域的位置设置陪镀片或陪镀孔，承担部分电流。6.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，还集成低通滤波器，实现具有两个工作频带的探针，或者低频端用作高频探针的直流偏置。7.根据权利要求6所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，低通滤波器所述接口为0-40g，阻抗为50ω的gsg接口，低通滤波器的内导体与探针内导体相连。8.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，内导体长度l1为6.67mm，内导体宽度w1为0.178mm，内导体厚度t1为0.1mm；探针针尖间距w4为0.1mm，探针总长度a1为10mm，宽度b1为9mm，波导接口长度a2为2.54mm，波导接口宽度b2为1.27mm，gsg针尖(1)处的介质支撑结构宽度w2为0.15mm，探针后端矩形微同轴线(3)部分的支撑结构宽度w3为0.7mm。9.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，针尖处介质支撑结构设置至少一块。10.根据权利要求1所述基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，其特征在于，前端开设定位孔(5)，后端开设螺丝孔(6)。
技术总结
本发明公开了一种基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针，涉及微波射频技术，特别是微波测量技术领域；具体GSG针尖、GSG-微同轴线转换结构、矩形微同轴线和微同轴线-WR-10矩形波导转换结构，矩形微同轴线和微同轴线-WR-10矩形波导转换结构以及用于探针与夹具定位的螺丝孔，GSG-微同轴线转换结构用于将TEM模转化为共面波导TEM模式，微同轴线-WR-10矩形波导转换结构用于实现TEM模和TE10模的转换。探针前端设计两个定位孔，探针后端设计两个螺丝孔，方便将探针与夹具固定，实现内导体与外导体高度不同，使中心导体发生形变时，待测器件与探针之间获得足够的接触力；并且通过在中心导体上插入介质支撑结构，保证探针不会因为过度形变而产生短路或损坏。过度形变而产生短路或损坏。过度形变而产生短路或损坏。
技术研发人员：郭诚 吴文萱 史光华 温潇竹 舒敏杰 张安学
受保护的技术使用者：西安交通大学
技术研发日：2021.10.08
技术公布日：2022/1/21