一种智能化可调节探针检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆探针台技术领域，具体为一种智能化可调节探针检测装置。


背景技术：

2.探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。晶圆探针台是一种用于信息科学与系统科学、电子与通信技术领域的分析仪器。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。
3.现有的晶圆探针台在工作中，工作人员需要定时向探针台上投放晶圆，探针台离不开工作人员的辅助，检测作业效率底，且人工成本高；因此市场急需研制一种智能化可调节探针检测装置来帮助人们解决现有的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种智能化可调节探针检测装置，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆探针台在工作中，工作人员需要定时向探针台上投放晶圆，探针台离不开工作人员的辅助，检测作业效率底，且人工成本高的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种智能化可调节探针检测装置，包括探针台壳体，所述探针台壳体的两侧均安装有固定支架，所述固定支架的上方安装有升降台，所述升降台的内部安装有晶圆进料箱，所述晶圆进料箱的下端安装有活动阀，所述活动阀的下方设置有真空卡盘，所述真空卡盘的两侧均安装有旋转台，所述旋转台的下方安装有转动杆，所述转动杆与旋转台之间安装有第一电动缸，两个所述旋转台的上端分别安装有第一探针座和第二探针座，所述第一探针座和第二探针座的一侧分别安装有第一检测探针和第二检测探针，所述真空卡盘的下方安装有支撑柱，且所述真空卡盘的内部两侧均安装有限位块，所述限位块设置有若干组，且若干组所述限位块的下端内部均贯通有螺纹杆，所述螺纹杆的一侧安装有隔板，所述螺纹杆的一端下方安装有伺服电机。
6.优选的，所述探针台壳体的内部两侧均安装有真空泵，所述真空泵的一端安装有抽气管，所述抽气管的两端分别与真空泵和支撑柱密封连接。
7.优选的，两个所述固定支架的内部分别安装有螺纹丝杠和滑动杆，且所述升降台的两端分别延伸至两个固定支架内部分别与螺纹丝杠和滑动杆连接，所述螺纹丝杠的下端安装有电动机。
8.优选的，所述转动杆的下端安装有伺服电机，所述伺服电机与转动杆通过联轴器固定连接，且所述第一电动缸均通过连接耳分别与旋转台和转动杆活动连接。
9.优选的，所述第一检测探针和第二检测探针的上端均安装有电动马达，且电动马
达通过连接轴分别与第一检测探针和第二检测探针传动连接，且所述第一检测探针和第二检测探针通过连接轴分别与第一探针座和第二探针座转动连接。
10.优选的，所述真空卡盘的上端面设置有滑动槽，所述滑动槽的内部安装有密封垫层，所述限位块与滑动槽滑动连接，所述限位块的一侧设置有挡片，且挡片通过密封垫层与滑动槽密封连接。
11.优选的，所述支撑柱的下端两侧均安装有第二电动缸，所述第二电动缸的两端分别与支撑柱和探针台壳体固定连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1. 该实用新型通过真空卡盘的设置，使用时，可将晶圆放置在晶圆进料箱内部，通过晶圆进料箱下端的活动阀进行自动下料，可通过升降台带动晶圆进料箱进行移动，使得晶圆进料箱的下端与真空卡盘相接近，从而方便进行下料，可通过真空卡盘上端面的限位块对晶圆进行限位，通过伺服电机带动螺纹杆转动，使得限位块在滑动槽滑动，对晶圆进行固定，自动化固定，以方便进行后续检测操作。
14.2. 该实用新型通过旋转台的设置，可在晶圆固定后，通过调整第一检测探针和第二检测探针的角度，再通过第一探针座和第二探针座下端的旋转台进行转动，使得第一检测探针和第二检测探针进一步提高工作精度，且可适应不同大小的晶圆，适应性强。
附图说明
15.图1为本实用新型的正视图；
16.图2为本实用新型的探针台壳体的内部结构图；
17.图3为本实用新型的真空卡盘的俯视图；
18.图4为本实用新型的真空卡盘的内部结构图。
19.图中：1、探针台壳体；2、固定支架；3、螺纹丝杠；4、升降台；5、晶圆进料箱；6、活动阀；7、滑动杆；8、转动杆；9、旋转台；10、第一电动缸；11、第一探针座；12、第一检测探针；13、第二检测探针；14、第二探针座；15、真空卡盘；16、支撑柱；17、限位块；18、真空泵；19、抽气管；20、步进电机；21、第二电动缸；22、滑动槽；23、密封垫层；24、隔板；25、螺纹杆；26、伺服电机。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种智能化可调节探针检测装置，包括探针台壳体1，探针台壳体1的两侧均安装有固定支架2，固定支架2的上方安装有升降台4，升降台4的内部安装有晶圆进料箱5，晶圆进料箱5的下端安装有活动阀6，活动阀6的下方设置有真空卡盘15，真空卡盘15的两侧均安装有旋转台9，旋转台9的下方安装有转动杆8，转动杆8与旋转台9之间安装有第一电动缸10，两个旋转台9的上端分别安装有第一探针座11和第二探针座14，第一探针座11和第二探针座14的一侧分别安装有第一检测探针12和第二检测探针13，真空卡盘15的下方安装有支撑柱16，且真空卡盘15的内部两侧均安装有
限位块17，限位块17设置有若干组，且若干组限位块17的下端内部均贯通有螺纹杆25，螺纹杆25的一侧安装有隔板24，螺纹杆25的一端下方安装有伺服电机26，通过调整第一检测探针12和第二检测探针13的角度，再通过第一探针座11和第二探针座14下端的旋转台9进行转动，使得第一检测探针12和第二检测探针13进一步提高工作精度，且可适应不同大小的晶圆，适应性强。
22.进一步，探针台壳体1的内部两侧均安装有真空泵18，真空泵18的一端安装有抽气管19，抽气管19的两端分别与真空泵18和支撑柱16密封连接，通过真空泵18可将真空卡盘15进行抽气工作，从而使晶圆贴附在真空卡盘15上端面。
23.进一步，两个固定支架2的内部分别安装有螺纹丝杠3和滑动杆7，且升降台4的两端分别延伸至两个固定支架2内部分别与螺纹丝杠3和滑动杆7连接，螺纹丝杠3的下端安装有电动机，通过升降台4带动晶圆进料箱5进行移动，使得晶圆进料箱5的下端与真空卡盘15相接近，从而方便进行下料。
24.进一步，转动杆8的下端安装有伺服电机26，伺服电机26与转动杆8通过联轴器固定连接，且第一电动缸10均通过连接耳分别与旋转台9和转动杆8活动连接，通过第一电动缸10可调整旋转台9的角度，适应不同的工作环境。
25.进一步，第一检测探针12和第二检测探针13的上端均安装有电动马达，且电动马达通过连接轴分别与第一检测探针12和第二检测探针13传动连接，且第一检测探针12和第二检测探针13通过连接轴分别与第一探针座11和第二探针座14转动连接，通过调整第一检测探针12和第二检测探针13的角度，可适应不同大小的晶圆，适应性强。
26.进一步，真空卡盘15的上端面设置有滑动槽22，滑动槽22的内部安装有密封垫层23，限位块17与滑动槽22滑动连接，限位块17的一侧设置有挡片，且挡片通过密封垫层23与滑动槽22密封连接，通过伺服电机26带动螺纹杆25转动，使得限位块17在滑动槽22滑动，对晶圆进行固定，自动化固定，以方便进行后续检测操作。
27.进一步，支撑柱16的下端两侧均安装有第二电动缸21，第二电动缸21的两端分别与支撑柱16和探针台壳体1固定连接，通过第二电动缸21可调整真空卡盘15的高度，从而适应不同的晶圆。
28.工作原理：使用时，将晶圆放置在晶圆进料箱5内部，通过晶圆进料箱5下端的活动阀6进行自动下料，可通过升降台4带动晶圆进料箱5进行移动，使得晶圆进料箱5的下端与真空卡盘15相接近，从而方便进行下料，可通过真空卡盘15上端面的限位块17对晶圆进行限位，通过伺服电机26带动螺纹杆25转动，使得限位块17在滑动槽22滑动，对晶圆进行固定，自动化固定，以方便进行后续检测操作，通过电动马达调整第一检测探针12和第二检测探针13的角度，可适应不同大小的晶圆，可在晶圆固定后，通过第一电动缸10可调整旋转台9的角度，适应不同的工作环境，再通过第一探针座11和第二探针座14下端的旋转台9进行转动，使得第一检测探针12和第二检测探针13进一步提高工作精度，且可适应不同大小的晶圆，适应性强。
29.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含
义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。