用于光离子化传感器的一体化离子收集机构的制作方法

文档序号:32956570发布日期:2023-01-17 15:52阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,包括第一导电针(1)、第二导电针(2)、第三导电针(3)以及通过热压成一个整体的由下往上依次层叠设置的第一金属平板(4)、第一抗紫外低表面能绝缘板(5)、第二金属平板(6)、第二抗紫外低表面能绝缘板(7)、第三金属平板(8),所述第三金属平板(8)的表面上呈阵列排布有多个通孔(9),多个所述通孔(9)均依次向下贯穿所述第三金属平板(8)、所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7)、所述第二金属平板(6)、所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5)以及所述第一金属平板(4),所述第一金属平板(4)的一侧边上一体化固定设有第一连接部(10),所述第二金属平板(6)的一侧边上一体化固定设有第二连接部(11),所述第三金属平板(8)的一侧边上一体化固定设有第三连接部(12),所述第一连接部(10)、所述第二连接部(11)以及所述第三连接部(12)设在所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5)的同一侧边处,且所述第一连接部(10)、所述第二连接部(11)以及所述第三连接部(12)在竖直方向上错位设置;所述第一导电针(1)与所述第三连接部(12)固定连接,所述第二导电针(2)与所述第二连接部(11)固定连接,所述第三导电针(3)与所述第一连接部(10)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一连接部(10)上设有第一装配通道(13),所述第二连接部(11)上设有第二装配通道(14),所述第三连接部(12)上设有第三装配通道(15),所述第一装配通道(13)的顶端向上贯穿所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5)和所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7),所述第二装配通道(14)的顶底两端分别贯穿所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7)和所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5),所述第三装配通道(15)的底端依次贯穿所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7)和所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5);所述第三导电针(3)的底端穿过并伸出所述第一装配通道(13),所述第二导电针(2)的底端穿过并伸出所述第二装配通道(14),所述第一导电针(1)的底端穿过所述第三装配通道(15)。3.根据权利要求1所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一金属平板(4)、第二金属平板(6)以及第三金属平板(8)采用铜板或不锈钢板。4.根据权利要求1所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一金属平板(4)、第二金属平板(6)以及第三金属平板(8)的厚度为1-2000μm。5.根据权利要求1所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5)和所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7)采用特氟龙平板。6.根据权利要求1所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一抗紫外低表面能绝缘板(5)和所述第二抗紫外低表面能绝缘板(7)的厚度为1-5000um。7.根据权利要求1至6任一项所述的一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其特征在于,所述第一导电针(1)与所述第三连接部(12)通过压入固定或过盈配合固定或卡扣连接或焊接的方式固定连接;所述第二导电针(2)与所述第二连接部(11)通过压入固定或过盈配合固定或卡扣连接或焊接的方式固定连接;所述第三导电针(3)与所述第一连接部(10)通过压入固定或过盈配合固定或卡扣连接或焊接的方式固定连接。

技术总结
本实用新型涉及光离子化气体检测技术领域,尤其涉及一种用于光离子化传感器的一体化离子收集机构,其中收集机构包括通过热压成一个整体的依次层叠的第一金属平板、第一抗紫外低表面能绝缘板、第二金属平板、第二抗紫外低表面能绝缘板、第三金属平板,呈阵列排布有多个贯穿整个层叠结构的通孔;第一导电针与与第三金属平板固定连接,第二导电针与第二金属平板固定连接,第三导电针与第一金属平板固定连接。本实用新型第一金属平板和第三金属平板之间构成离化腔,外层两个金属平板构成离子收集电极,每一个通孔成为一个独立的微型子离子化池,体积小,灵敏度可调,离子收集效率高,第二金属平板防止漏电流产生,整体结构便于批量生产。产。产。


技术研发人员:王辰 刘洋 吴涛 聂丽芳 袁丁 吴红彦 夏征
受保护的技术使用者:北京华泰诺安技术有限公司
技术研发日:2021.12.31
技术公布日:2023/1/16
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