技术特征：
1.一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，包括：第一圆柱体检棒(5)、第二圆柱体检棒(6)及投影图像测量仪；其中，所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上；所述投影图像测量仪包括：发射器(10)和接收器(11)，其中，所述第一圆柱体检棒(5)设置于所述发射器(10)及所述接收器(11)之间；其中，所述发射器(10)用于发射led光照射至所述第一圆柱体检棒(5)上，所述接收器(11)用于显示所述led光被所述第一圆柱体检棒(5)或所述第二圆柱体检棒(6)部分遮挡后形成的光影，以得到所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置；根据所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置偏差及检测端面距离，得到所述激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。2.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)分别通过转接件与所述激光跟踪仪两侧的俯仰轴的端面连接；其中，所述转接件用于调节所述第一圆柱体检棒(5)和/或所述第二圆柱体检棒(6)的方位。3.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述检测端面距离为所述第一圆柱体检棒(5)的检测端面到所述第二圆柱体检棒(6)的检测端面之间的距离。4.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述接收器(11)的垂直基准线与水平基准线在该检测装置检测过程中始终保持不变。5.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的直径相同。6.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，还包括：第一支撑架(12)，用于固定支撑所述发射器(10)；第二支撑架(13)，用于固定支撑所述接收器(11)。7.根据权利要求6所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述发射器(10)发射的led光与所述激光跟踪仪俯仰轴垂直。8.根据权利要求1所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，其特征在于，所述激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差满足以下关系：θ＝arctan(|a-b|/cd)其中，θ表示激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差；a表示所述第一圆柱体检棒(5)的中心轴线位置所对应的数值；b表示第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置所对应的数值；cd表示所述检测端面距离。9.一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法，其特征在于，包括：将权利要求1～8中任一项所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置中的第一圆柱体检棒(5)及第二圆柱体检棒(6)安装在激光跟踪仪两侧的俯仰轴上，以及，所述第一圆柱体检棒(5)设置于所述发射器(10)及所述接收器(11)之间；
利用所述发射器(10)发射led光照射至所述第一圆柱体检棒(5)上，以使所述接收器(11)显示所述led光被所述第一圆柱体检棒(5)部分遮挡后形成的光影，得到所述第一圆柱体检棒(5)的中心轴线位置；将所述激光跟踪仪围绕其方位轴旋转180
°
，以使所述接收器(11)显示所述led光被所述第二圆柱体检棒(6)部分遮挡后形成的光影，得到所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置；根据所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线位置偏差及检测端面距离，得到所述激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。10.根据权利要求9所述的激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法，其特征在于，该方法还包括：通过调节第一转接件(8)和/或第二转接件(9)的位移和角度，以调节所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的方位，使得所述第一圆柱体检棒(5)及所述第二圆柱体检棒(6)的中心轴线与激光跟踪仪俯仰轴的中心轴线重合。
技术总结
本公开提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，包括：第一圆柱体检棒、第二圆柱体检棒以及投影图像测量仪；第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上；投影图像测量仪包括：发射器和接收器，第一圆柱体检棒设置于发射器及接收器之间；发射器用于发射LED光照射至第一圆柱体检棒上，接收器用于显示LED光被第一圆柱体检棒或第二圆柱体检棒部分遮挡后形成的光影，以得到第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置；根据第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置偏差及检测端面距离，得到激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。本公开还提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法。和方位轴的垂直度误差检测方法。和方位轴的垂直度误差检测方法。
技术研发人员：王珊 张滋黎 孟繁昌 纪荣祎 王国名 崔成君 潘映伶 张佳 董登峰 周维虎
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2022.08.25
技术公布日：2022/11/8