光源装置以及光学检测仪器的制作方法

本发明是关于半导体检测领域，特别是关于一种光源装置以及光学检测仪器。

背景技术：

1、在半导体生产制造领域，芯片产品质量是重中之重。基于机器视觉技术的缺陷检测设备成为了保证芯片质量的一把利刃，成为了芯片制造过程中不可或缺的产品。作为机器视觉核心技术之一的光学技术在成像方面起着关键决定作用。传统市场上已有产品的光学检测仪器很难在多种芯片类型下做到兼容，很难在不同的复杂场景下做到成像稳定，无法保证满足半导体产线芯片高速、稳定的检测标准要求。

2、市场上现有产品设备的光学检测仪器，他们大都是同轴光、环光组成，但是成像效果无法覆盖类型不同、大小不一的芯片。成像效果无法做到产品类型大小的兼容，进而无法保证芯片产品的稳定检测。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种光源装置以及光学检测仪器，其能够射出的光可以适应和兼容不同芯片产品类型，不同位置角度，不同大小的缺陷。

2、为实现上述目的，本发明的实施例提供光源装置，适于光学检测仪器，其特征在于，所述光源装置包括：

3、直射光源，包括第一光源和第二光源，所述第一光源的照射方向与所述光学检测仪器中的相机的光轴平行，所述第二光源的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角，所述夹角为0°～90°；

4、漫反射光源机构，包括第三光源以及漫反射件；所述第三光源的照射方向朝向所述漫反射件；

5、其中，所述第三光源射出的光经所述漫反射件漫反射后，形成的出射光照射待检测物。

6、在本发明的一个或多个实施方式中，所述第二光源在所述第一平面上的投影形成圆环形区域，其中，所述第一平面垂直于所述相机的光轴。

7、在本发明的一个或多个实施方式中，所述第二光源包括多个环形单元，所述多个环形单元在所述第一平面上的投影形成多个外径依次增大的所述圆环形区域。

8、在本发明的一个或多个实施方式中，每个所述环形单元的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角互不相同。

9、在本发明的一个或多个实施方式中，每个所述环形单元均包括多个角度通道，所述多个角度通道在所述第一平面上的投影形成多个第一扇环形区域，所述多个第一扇环形区域形成所述圆环形区域。

10、在本发明的一个或多个实施方式中，每个所述角度通道的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角互不相同。

11、在本发明的一个或多个实施方式中，所述第二光源包括多个照射通道，每个所述照射通道均包括每个所述环形单元中至少一个角度通道，所述多个照射通道在所述第一平面上的投影形成多个第二扇环形区域。

12、在本发明的一个或多个实施方式中，所述第一光源、第二光源以及第三光源均包括多个发光单元，每个所述发光单元射出的光为白光、红光、蓝光以及绿光中的任意一种。

13、在本发明的一个或多个实施方式中，所述漫反射件为漫射板或柔性反射带。

14、本发明的实施例还提供了一种光学检测仪器，包括相机以及如上述的光源机构。

15、与现有技术相比，根据本发明实施方式的光源装置，通过直射光源可以向待测物发射出与相机的光轴平行的光、与相机的光轴有一定夹角的光，再通过漫反射光源机构向待测物发射出经漫反射后的出射光，从而使光源装置发出的光可以适应不同芯片产品类型，不同位置角度，不同大小的缺陷。

技术特征：

1.一种光源装置，适于光学检测仪器，其特征在于，所述光源装置包括：

2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述第二光源在所述第一平面上的投影形成圆环形区域，其中，所述第一平面垂直于所述相机的光轴。

3.如权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述第二光源包括多个环形单元，所述多个环形单元在所述第一平面上的投影形成多个外径依次增大的所述圆环形区域。

4.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，每个所述环形单元的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角互不相同。

5.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，每个所述环形单元均包括多个角度通道，所述多个角度通道在所述第一平面上的投影形成多个第一扇环形区域，所述多个第一扇环形区域形成所述圆环形区域。

6.如权利要求5所述的光源装置，其特征在于，每个所述角度通道的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角互不相同。

7.如权利要求4所述的光源装置，其特征在于，所述第二光源包括多个照射通道，每个所述照射通道均包括每个所述环形单元中至少一个角度通道，所述多个照射通道在所述第一平面上的投影形成多个第二扇环形区域。

8.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述第一光源、第二光源以及第三光源均包括多个发光单元，每个所述发光单元射出的光为白光、红光、蓝光以及绿光中的任意一种。

9.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述漫反射件为漫射板或柔性反射带。

10.一种光学检测仪器，其特征在于，包括相机以及如权利要求1～9任一项所述的光源机构。

技术总结
本发明公开了一种光源装置以及光学检测仪器，所述光源装置包括：直射光源，包括第一光源和第二光源，所述第一光源的照射方向与所述光学检测仪器中的相机的光轴平行，所述第二光源的照射方向与所述第一光源的照射方向形成夹角，所述夹角为0°～90°；漫反射光源机构，包括第三光源以及漫反射件，所述第三光源的照射方向朝向所述漫反射件；其中，所述第三光源射出的光经所述漫反射件漫反射后，形成的出射光照射待检测物。本发明通过对光源设计，使其可以射出同轴直射，不同颜色不同角度光，均匀成像光路，任意设置亮度，对同一待检测物可以采集不同光源配置的图像，使待检测物上的缺陷呈现的更全，更明显。

技术研发人员：牛广升,李鑫昌
受保护的技术使用者：有为图像技术（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1