技术特征：
1.一种六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，包括第一层模块、第二层模块以及第三层模块；所述第一层模块包括真空系统和六氟化硫分解产物质谱仪主体，所述真空系统与所述六氟化硫分解产物质谱仪主体相连接，所述真空系统包括前级泵和差分分子泵；所述第二层模块设置在所述第一层模块的上方，所述第二层模块包括高压电源，所述高压电源与六氟化硫分解产物质谱仪主体相连接；所述第三层模块设置在所述第二层模块的上方，所述第三层模块包括控制电路板和低压电源，所述控制电路板管理并控制各个模块之间的工作；所述高压电源与所述低压电源均采用独立电源模块设置，各个模块与系统上均设置信息标签；所述第一层模块、所述第二层模块以及所述第三层模块通过可拆卸的框架搭建，呈模块层叠设置。2.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述控制电路板的底层设置为io接口，所述控制电路板的上层设置为控制电路，所述控制电路中的脉冲控制部分设置在接线端子一侧。3.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述第二层模块还包括pc104，所述pc104与所述控制电路板相连接。4.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述控制电路板刚性化设计。5.根据权利要求2所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述控制电路板去耦设计，所述控制电路板表面涂覆有机绝缘漆。6.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述真空系统的底部设置有减震脚。7.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，还包括外壳，所述外壳采用一体化金属屏蔽机箱，所述一体化金属屏蔽机箱采用蜂窝截止波导板、单点和多点混合接地方式，所述一体化金属屏蔽机箱的入口处设置有emi输入输出滤波器。8.根据权利要求1所述的六氟化硫分解产物质谱检测仪，其特征在于，所述六氟化硫分解产物质谱仪主体的进样系统采用毛细管常压进样，所述毛细管常压进样包括毛细管，所述毛细管的后端设置有开关阀。
技术总结
本发明公开了一种六氟化硫分解产物质谱检测仪，涉及精密仪器技术。该发明包括：采用三层模块层叠结构，第一层为真空系统和质谱仪主体，真空系统包括前级泵和差分分子泵；第二层为高压电源，第三层为控制板和低压电源。该发明采用的所有电源均为独立模块，每个模块上设置标签便于维护和更换。采用层叠结构主要是考虑到仪器的维护问题，将易损件安装在最上层，而维护次数较少的设备主体在最下层，以此达到维修简便的要求。维修简便的要求。维修简便的要求。
技术研发人员：唐彬 罗宗昌 梁沁沁 韩方源 覃剑 喻敏 胡梦竹
受保护的技术使用者：广西电网有限责任公司电力科学研究院
技术研发日：2022.11.11
技术公布日：2023/3/14