一种测试用的高低温探针台的制作方法

文档序号:31547571发布日期:2022-09-17 01:41阅读:101来源:国知局
一种测试用的高低温探针台的制作方法

1.本实用新型涉及探针台技术领域,具体为一种测试用的高低温探针台。


背景技术:

2.高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器,是一款为晶片、器件和材料提供真空和高低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台,高低温真空探针台在不同测试环境、不同温度条件下可对材料进行电学特性表征测试,因此需要使用到测试用的高低温探针台,
3.经检索,专利公告号为cn212410644u公开了一种真空高低温半导体器件测试探针台,该实用新型公开了一种真空高低温半导体器件测试探针台,包括支撑台体和四个支撑腿,四个所述支撑腿分别通过螺栓安装在支撑台体的底部四角外壁,所述支撑台体的顶部四角外壁均固定安装有支撑杆,且四个支撑杆的顶部外壁固定安装有同一个支撑顶板,所述支撑顶板底部的两端外壁均固定安装有第一支撑板,且两个第一支撑板的底部外壁均开设有第一凹槽,两个第一凹槽的内壁固定安装有电动导轨,两个电动导轨的底部外壁均滑动连接有电动滑块。
4.现有的测试用的高低温探针台存在的缺陷是:
5.1、现有的测试用的高低温探针台在使用后不方便进行收纳防护,容易使平台上存堆积灰尘等杂质,同时会因为外界碰撞导致损坏,增加的使用成本,增加了工作人员的维护工作,降低了便捷性;
6.2、一般的测试用的高低温探针台缺少清洁结构,在进行实验后,在平台上表面会粘附杂质,对杂质进行清理时较为麻烦,不方便进行清理,为此我们提出一种测试用的高低温探针台来解决现有的问题。


技术实现要素:

7.本实用新型的目的在于提供一种测试用的高低温探针台,以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种测试用的高低温探针台,包括防护箱与探针台主体,所述防护箱的内部活动安装有探针台主体,所述防护箱的一侧固定安装有电机,所述电机的输出端固定安装有延伸至防护箱内部的丝杆,所述丝杆的外侧固定安装有活动套,所述活动套的底部固定安装有支撑架,探针台主体的底部固定安装有与活动套配合的移动杆,所述防护箱的内侧通过滑动槽滑动安装有盖板,所述盖板的外侧设置有抽拉板,所述盖板的底部固定安装有与探针台主体对应的清洁垫。
9.使移动杆能够顺着挤压槽进行移动,使探针台主体能够在防护箱的内部进行上下调节,探针台主体能够收纳在防护箱的内部,增加实用性,降低了工作人员的工作效率。
10.优选的,所述防护箱与探针台主体之间通过滑槽滑动安装,且探针台主体的底部固定安装有与滑槽配合的活动柱。使探针台主体底部安装的活动柱能够顺着滑槽进行滑
动,将探针台主体能够进行上下升降。
11.优选的,所述防护箱与电机之间通过安装板固定安装,支撑架与防护箱之间通过移动槽滑动安装。使活动套能够顺着移动槽进行滑动,通过支撑架能够在移动槽的内部进行滑动。
12.优选的,所述活动套外侧设置有与移动杆配合的挤压槽,且活动套与丝杆之间通过螺旋纹活动安装。使活动套上设置的挤压槽能够与移动杆之间进行卡合。
13.优选的,所述探针台主体的前端与后端皆设固定安装握把,且防护箱的前端与后端皆设置有与握把对应的收纳槽。通过握把能够将探针台主体进行拉动,方便对内部进行维护,使装置在进行使用的过程中更加便捷,通过收纳槽能够在对探针台主体进行收纳时更加方便,增加便捷性。
14.优选的,所述防护箱与盖板之间通过固定旋钮固定,且盖板的前端设置有与固定旋钮配合的固定孔。通过固定旋钮与固定孔之间进对接,使探针台主体能够与防护箱之间进行固定。
15.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
16.1、通过设置有活动套、移动杆、挤压槽与支撑架之间的相互配合,可以较为方便的通过移动杆与活动套之间相互移动,使移动杆能够顺着挤压槽进行移动,使探针台主体能够在防护箱的内部进行上下调节,探针台主体能够收纳在防护箱的内部,增加实用性,降低了工作人员的工作效率。
17.2、通过设置有盖板、清洁垫与抽拉板之间的相互配合,通过能够通过盖板顺着滑动槽进行安装,使盖板能够对探针台主体的表面覆盖,通过清洁垫能够对探针台主体的表面进行清洁,使平台表面粘附的杂质和粉尘更加方便的进行清洁,操作方便快捷。
附图说明
18.图1为本实用新型的第一外观立体主视图;
19.图2为本实用新型的正面内部结构示意图;
20.图3为本实用新型的活动套局部结构示意图;
21.图4为本实用新型的盖板局部结构示意图。
22.图中:1、防护箱;101、盖板;102、抽拉板;103、电机;104、安装板;105、固定旋钮;106、握把;107、滑动槽;108、收纳槽;109、清洁垫;2、探针台主体;201、丝杆;202、活动套;203、挤压槽;204、移动杆;205、支撑架;206、移动槽;207、活动柱;208、滑槽;209、固定孔。
具体实施方式
23.下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
24.实施例一
25.如图1-4所示,本实用新型提出的一种测试用的高低温探针台,包括防护箱1与探针台主体2,防护箱1的内部活动安装有探针台主体2,防护箱1的一侧固定安装有电机103,电机103的输出端固定安装有延伸至防护箱1内部的丝杆201,丝杆201的外侧固定安装有活动套202,活动套202的底部固定安装有支撑架205,探针台主体2的底部固定安装有与活动套202配合的移动杆204,防护箱1的内侧通过滑动槽107滑动安装有盖板101,盖板101的外
侧设置有抽拉板102,盖板101的底部固定安装有与探针台主体2对应的清洁垫109,防护箱1与探针台主体2之间通过滑槽208滑动安装,且探针台主体2的底部固定安装有与滑槽208配合的活动柱207,防护箱1与电机103之间通过安装板104固定安装,支撑架205与防护箱1之间通过移动槽206滑动安装,活动套202外侧设置有与移动杆204配合的挤压槽203,且活动套202与丝杆201之间通过螺旋纹活动安装,防护箱1与盖板101之间通过固定旋钮105固定,且盖板101的前端设置有与固定旋钮105配合的固定孔209。
26.基于实施例1的测试用的高低温探针台工作原理是:通过电机103的旋转同步带动丝杆201旋转,使活动套202能够顺着移动槽206进行滑动,通过支撑架205能够在移动槽206的内部进行滑动,使活动套202上设置的挤压槽203能够与移动杆204之间进行卡合,使探针台主体2底部安装的活动柱207能够顺着滑槽208进行滑动,将探针台主体2能够进行上下升降,对探针台主体2进行收纳,通过盖板101能够顺着滑动槽107进行移动,使盖板101能够对探针台主体2的表面进行摩擦,通过清洁垫109能够方便的将探针台主体2进行擦拭,通过固定旋钮105与固定孔209之间进对接,使探针台主体2能够与防护箱1之间进行固定,在进行使用的过程更加稳定。
27.实施例二
28.如图1-4所示,本实用新型提出的一种测试用的高低温探针台,相较于实施例一,本实施例还包括:探针台主体2的前端与后端皆固定安装有握把106,且防护箱1的前端与后端皆设置有与握把106对应的收纳槽108。
29.本实施例中,通过握把106能够将探针台主体2进行拉动,方便对内部进行维护,使装置在进行使用的过程中更加便捷,通过收纳槽108能够在对探针台主体2进行收纳时更加方便,增加便捷性。
30.上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例,基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示,本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
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